[发明专利]一种高动态二维力敏传感器及其加工方法

权利要求书

1.一种高动态二维力敏传感器，包括移动手柄、弹性梁体、壳体、壳体定位螺钉孔、外接引线、电路板、底座和应变计，其特征在于：所述弹性梁体下端中间部分较细，呈对称双漏斗型，弹性梁体外端设置有用于安装应变计的扩展梁体，所述扩展梁体包括4片设置在弹性梁体外围的金属薄板，4片金属薄板围合的截面呈正方形，所述扩展梁体上端和弹性梁体连接，所述扩展梁体下端和底座连接。

2.根据权利要求1所述的一种高动态二维力敏传感器，其特征在于所述应变计为U型。

3.一种高动态二维力敏传感器的加工方法，其特征在于包括以下步骤：

1)筛选应变计：

将无基底U型应变计，做温度老化实验后，选取阻值相近的应变计，将四个阻值接近的应变计，两两为一组组成电桥，并按要求对应变计的引出金丝进行整形，使得应变计便于粘贴；

2)加工弹性梁体：

对粗加工的弹性梁体进行热处理工艺，然后精加工；

3)粘贴应变计：

首先对扩展梁体表面进行打磨和清洗，然后在扩展梁体表面涂刷应变胶，进行固化，固化结束后再涂刷一层应变胶，将整形的应变计准确的贴在扩展梁体上，最后再按应变胶固化工艺进行固化；

4)焊接电路板：

应变计的引出端为金丝，采取铟焊，焊接时温度控制在250℃±10℃；内部电路联接为锡焊，最终通过基座底部引出引线；

5)壳体组装：

弹性梁体底座有用于旋转的盲孔，用专用工具夹住盲孔，将壳体与弹性梁体底座拧紧。