[发明专利]激光束照射装置以及制造有机发光显示设备的方法和装置有效
申请号: | 201110025244.1 | 申请日: | 2011-01-19 |
公开(公告)号: | CN102157709A | 公开(公告)日: | 2011-08-17 |
发明(设计)人: | 亚历山大·沃罗诺夫;韩圭完;姜泰旭;卢喆來 | 申请(专利权)人: | 三星移动显示器株式会社 |
主分类号: | H01L51/56 | 分类号: | H01L51/56;H01L21/77 |
代理公司: | 北京德琦知识产权代理有限公司 11018 | 代理人: | 罗正云;王琦 |
地址: | 韩国*** | 国省代码: | 韩国;KR |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 激光束 照射 装置 以及 制造 有机 发光 显示 设备 方法 | ||
1.一种激光束照射装置,其将激光束照射到布置在第一基板与第二基板之间的密封单元上以密封所述第一基板和所述第二基板,所述激光束照射装置包括:
激光头,其将所述激光束照射到所述密封单元上;以及
控制单元,其控制所述激光束的驱动速度和驱动方向,使得所述激光束沿所述密封单元的第一方向反复进行前后移动,并至少两次通过所述密封单元中的同一位置。
2.如权利要求1所述的激光束照射装置,其中所述激光束的前后移动以大于100mm/s的速度进行。
3.如权利要求1所述的激光束照射装置,其中:
所述激光头进一步包括用于进行所述激光束的前后移动的检流计镜,并且
所述控制单元包括处理器以控制所述检流计镜进行所述激光束的前后移动。
4.如权利要求1所述的激光束照射装置,其中所述激光头以比所述激光束的前后移动的速度慢的速度沿所述第一方向直线地移动。
5.如权利要求1所述的激光束照射装置,进一步包括位于所述第一基板和所述第二基板下方的基板平台,其中所述基板平台以比所述激光束的前后移动的速度慢的速度沿所述第一方向进行直线移动。
6.如权利要求1所述的激光束照射装置,其中所述激光束以点光束的形式照射。
7.如权利要求6所述的激光束照射装置,其中所述点光束的直径在大于等于所述密封单元的宽度且小于等于所述密封单元的宽度的两倍的范围内。
8.如权利要求6所述的激光束照射装置,其中所述点光束的直径大于零且小于所述密封单元的宽度。
9.如权利要求8所述的激光束照射装置,其中所述控制单元进一步控制所述激光头,使得所述激光束除了前后移动之外,还沿所述密封单元的横向移动,从而使得所述激光束进行转动。
10.如权利要求1所述的激光束照射装置,其中所述密封单元包括玻璃料。
11.一种制造有机发光显示设备的方法,该方法包括:
在第一基板或第二基板上形成有机发光单元;
沿围绕所形成的有机发光单元的路径在所述第一基板与所述第二基板之间形成密封单元;
将所述第一基板与所述第二基板对齐,使得所形成的有机发光单元位于所述第一基板与所述第二基板之间;以及
通过利用包括用于照射激光束的激光头和用于控制所述激光束的驱动速度和驱动方向的控制单元的激光束照射装置,沿所述密封单元的路径前后反复移动所述激光束,使得所述激光束至少两次通过所述路径上的同一位置。
12.如权利要求11所述的制造有机发光显示设备的方法,其中所述第一基板或所述第二基板透射所述激光束。
13.如权利要求11所述的制造有机发光显示设备的方法,其中在所述激光束至少两次通过所述同一位置之后,所述密封单元的所述同一位置达到足以在所述同一位置处密封所述第一基板和所述第二基板的密封温度。
14.如权利要求13所述的制造有机发光显示设备的方法,其中所述前后反复移动所述激光束包括:移动所述激光束使得在所述同一位置处,温度从所述密封温度线性下降的冷却时间长于达到所述密封温度所花费的加热时间。
15.如权利要求11所述的制造有机发光显示设备的方法,其中所述前后反复移动所述激光束包括:以大于100mm/s的速度前后移动所述激光束。
16.如权利要求11所述的制造有机发光显示设备的方法,其中:
所述前后反复移动激光束包括:利用所述激光束照射装置的检流计镜进行所述激光束的前后移动;并且
利用所述控制单元的处理器控制所述检流计镜进行所述激光束的前后移动。
17.如权利要求11所述的制造有机发光显示设备的方法,进一步包括:以比所述激光束前后移动时的速度慢的速度,沿所述密封单元的路径将所述激光头从所述同一位置移动到下一位置。
18.如权利要求11所述的方法,进一步包括:以比所述激光束在前后移动时的速度慢的速度,沿第一方向直线地移动基板平台,所述基板平台进一步布置在所述第一基板和所述第二基板的下方。
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