[发明专利]一种粒子束能够通过的非金属真空隔离窗

权利要求书

1.一种粒子束能够通过的非金属真空隔离窗，在粒子束的大气出口处用支承装置设置有真空隔离窗，其特征是在支承装置中固定设置有两个用高分子材料制成的薄膜，在两个薄膜间形成一个可抽真空的区域，其中第一薄膜外表面与主真空系统接触，第二薄膜的外表面与非真空环境接触，第一薄膜的内表面外和第二薄膜的外表面外还分别设置有用高分子材料制成的网状支承物，两个薄膜间的可抽真空区域与真空泵连接，在作业时两膜窗间的真空度为0.5Pa～1.5Pa。

2.权利要求1所述的粒子束能够通过的非金属真空隔离窗，其特征是所述的支承装置由支承件、左压板、右压板、中间压板、支承件与左、右压板间的连接件，中间压板与支承件间的连接件、右压板与中间压板间的连接件、设于左、右压板和支承件间的密封件构成，其中：支承件为由一个横结构和两个纵结构构成的呈П形截面的部件，支承件的横结构中间、左和右压板的中间以及中间压板的中间均有对应的用于设置与膜窗的开口，且在支承件的横结构、左和右压板以及中间压板开口附近均设置有用于相应连接的螺孔，支承件的横结构边缘开设有和纵结构贯通的用于与左、右压板固定连接用的通孔，П形支承件上开设有与真空泵连通的通道；左、右压板及中间压板均为中间带有与膜窗对应开口的近似平板的结构，其中的中间压板的中间开口旁设有与支承件或右压板相连接用的用于穿过固定螺钉的通孔；右压板的中间开有与膜窗对应的开口，该开口旁设有固定中间压板的螺孔，在使用状态下分别用左、右压板与支承件固定的两个由高分子材料膜制成的膜窗；在两个膜窗的右侧分别用中间压板与支承件横结构内侧和右压板外侧固定用高分子材料织成的网状膜窗支承物，左、右压板与支承件间设置有密封圈。

3.权利要求1或2所述的粒子束能够通过的非金属真空隔离窗，其特征是膜窗材料为厚的75μm±5μm双向拉伸聚酯薄膜，所用的网状膜窗支承物材料为0.6mm±0.1mm的聚对苯二甲酰对苯二胺纤维，网格横竖均匀分布，网线间隙为0.08mm±0.01mm。