[发明专利]具有巨磁阻抗效应的钙钛矿结构薄膜及其制备方法

权利要求书

1.具有巨磁阻抗效应的钙钛矿结构薄膜，其特征在于：该薄膜为LaMnO_x钙钛矿结构的锰氧化物，其中，3≤x≤4，所述的薄膜是一种多晶结构的薄膜材料，薄膜厚度为10～400nm。

2.一种具有巨磁阻抗效应的钙钛矿结构薄膜的制备方法，其特征在于：

第一步，确定需要制备的薄膜溶胶的体积和物质的量浓度，进而得到需要制备的薄膜溶胶的物质的量；

第二步，根据需要制备的薄膜溶胶的物质的量，得到所需的金属离子的物质的量，利用含有所需金属离子的有机醇盐化合物作为前驱物，将所述前驱物溶入超纯水中进行搅拌溶解，得到前驱物溶液；所述的超纯水的体积为所述的薄膜溶胶的体积的1/4，所述的前驱物选取为乙酸镧和乙酸锰；

第三步，向第二步的前驱物溶液中逐滴加入甲醇，不断的进行搅拌，使前驱物均匀完全溶解，直至形成透明的溶胶溶液，停止加入甲醇；

第四步，将配制的透明的溶胶溶液用旋涂方式或提拉法涂覆在衬底上，经过在管式恒温炉里进行热解和烧结过程制备出所需要的钙钛矿结构薄膜。

3.根据权利要求2所述的具有巨磁阻抗效应的钙钛矿结构薄膜的制备方法，其特征在于：所述的热解和烧结过程为：首先从室温以1℃/min～5℃/min的速度升温至100℃～200℃的温度，恒温热解30min～60min；然后再以10℃/min～30℃/min的速度升温达到烧结温度800℃～1000℃，并进行100min～200min恒温烧结；最后进行自然冷却到室温。

4.根据权利要求2所述的具有巨磁阻抗效应的钙钛矿结构薄膜的制备方法，其特征在于：所述的旋涂方式涂覆，具体为：

(1)沉积：将含有质量分数为5％的W的Ni-W材料衬底放在匀胶仪的样品台上，用滴管吸取透明的溶胶溶液，覆盖衬底表面；

(2)旋转匀胶：通过旋转匀胶仪的样品台，将透明的溶胶溶液均匀地铺在衬底上；

(3)溶剂蒸发：将铺有透明的溶胶溶液的衬底放置在管式恒温炉的温度均匀区中，进行热解和烧结。

5.根据权利要求2所述的具有巨磁阻抗效应的钙钛矿结构薄膜的制备方法，其特征在于：所述的提拉法涂覆，具体为：

(1)浸渍：将衬底垂直夹在提拉机的夹具中，并将衬底浸渍在薄膜溶胶中，调节提拉机的参数：上升速度为60mm/min，下行速度为40mm/min，行程为30mm，中间等待时间为5s；

(2)提拉：调节完成后运行提拉机，将薄膜溶胶涂覆在含有质量分数为5％的W的Ni-W衬底的两面；

(3)溶剂蒸发：将上述涂覆有薄膜溶胶的衬底放置在中空的陶瓷板上，然后放入管式恒温炉中进行热解和烧结。