[发明专利]基板交换装置无效
申请号: | 201110023383.0 | 申请日: | 2011-01-20 |
公开(公告)号: | CN102610548A | 公开(公告)日: | 2012-07-25 |
发明(设计)人: | 李文新;林伟仁;李月新;谢武岑 | 申请(专利权)人: | 佶新科技股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677;B65G49/06 |
代理公司: | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人: | 余刚;吴孟秋 |
地址: | 中国台*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 交换 装置 | ||
1.一种基板交换装置,设置于一基板输送带(10)上,所述基板输送带(10)具有多个输送轮(11),其特征在于,所述基板交换装置包括:
一悬吊架(20);
一第一位移机构(30),所述第一位移机构(30)设于所述悬吊架(20)上;
一第二位移机构(40),所述第二位移机构(40)设于所述悬吊架(20)上;
一第一叉杆(50),所述第一叉杆(50)具有多个直条排列的第一悬臂(51),且设于所述第一位移机构(30)上,并受所述第一位移机构(30)的驱动而上下左右位移,所述多个第一悬臂(51)与所述多个输送轮(11)为交错设置而能够垂直穿越所述多个输送轮(11);以及
一第二叉杆(60),所述第二叉杆(60)具有多个直条排列的第二悬臂(61),且设于所述第二位移机构(40)上,并受所述第二位移机构(40)的驱动而上下左右位移,所述多个第二悬臂(61)与所述多个输送轮(11)为交错设置而可垂直穿越所述多个输送轮(11),又所述第一叉杆(50)与所述第二叉杆(60)可受所述第一位移机构(30)与所述第二位移机构(40)的驱动,而位移至使所述第一叉杆(50)与所述第二叉杆(60)于所述基板输送带(10)的投影面上不重叠。
2.根据权利要求1所述的基板交换装置,其特征在于,所述第一位移机构(30)与所述第二位移机构(40)分设于所述悬吊架(20)的两侧。
3.根据权利要求2所述的基板交换装置,其特征在于,所述第一位移机构(30)包括一第一固定杆(31)、一第一水平位移杆(32)与一第一垂直位移杆(33),其中所述第一固定杆(31)固设于所述悬吊架(20)上,所述第一水平位移杆(32)水平滑动设于所述第一固定杆(31)上,所述第一垂直位移杆(33)垂直滑动设于所述第一水平位移杆(32)上,而所述第一叉杆(50)固设于所述第一垂直位移杆(33)。
4.根据权利要求2所述的基板交换装置,其特征在于,所述第二位移机构(40)包括一第二固定杆(41)、一第二水平位移杆(42)与一第二垂直位移杆(43),其中所述第二固定杆(41)固设于所述悬吊架(20)上,所述第二水平位移杆(42)水平滑动设于所述第二固定杆(41)上,所述第二垂直位移杆(43)垂直滑动设于所述第二水平位移杆(42)上,而所述第二叉杆(60)固设于所述第二垂直位移杆(43)。
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H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
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