[发明专利]形成半导体管芯的方法

权利要求书

1.一种形成半导体管芯的方法，包括以下步骤：

提供具有顶表面和底表面的半导体晶片；

将多个半导体管芯形成于所述半导体晶片的所述顶表面上，其中所述多个半导体管芯中的两个或更多个管芯具有以下的周边之一：非矩形形状、具有至少一个沿着所述周边的突出部的形状、多连通的形状、具有至少一个曲线部分的形状、非对称的形状、对周边周围的距离的不同值或者不规则的形状，其中所述不规则的形状阻止通过使用在轴向上延伸横越所述半导体晶片的切单线来切单所述不规则的形状；

形成切单区作为所述半导体晶片的在所述半导体管芯之间的区域；以及

使用干法蚀刻来同时地切单所述多个半导体管芯。

2.根据权利要求1所述的方法，其中形成所述多个半导体管芯的步骤包括：将所述半导体管芯形成为具有至少一个沿着所述周边的突出部以具有尺寸，其中至少一个尺寸具有多个值。

3.根据权利要求1所述的方法，其中形成所述多个半导体管芯的步骤包括：形成所述半导体管芯以具有不同的面积。

4.根据权利要求1所述的方法，其中形成所述多个半导体管芯的步骤包括：将所述非矩形形状形成为三角形、具有突出部的形状、具有曲线形状的边、平行四边形、三角形或八边形中的一种。

5.根据权利要求1所述的方法，其中形成所述切单区的步骤包括：使所述切单区形成为非轴向的切单线。

6.根据权利要求1所述的方法，其中在使用所述干法蚀刻来同时地切单所述多个半导体管芯的步骤期间形成通过至少一个所述半导体管芯的开口，并且其中所述开口没有将所述半导体管芯划分成两个或更多个块。

7.一种形成半导体管芯的方法，包括以下步骤：

提供具有顶表面和底表面的半导体晶片；

将多个半导体管芯形成于所述半导体晶片的所述顶表面上，其中所述多个半导体管芯中的至少两个半导体管芯被按照不规则的图形来排布，其中所述不规则的图形阻止通过使用仅在轴向上延伸横越所述半导体晶片中形成所述多个半导体管芯的部分的轴向切单线来切单所述多个半导体管芯；以及

使用干法蚀刻来同时地切单所述多个半导体管芯。

8.根据权利要求7所述的方法，其中形成所述多个半导体管芯的步骤包括：按非中心的图形放置所述多个半导体管芯，其中所述多个半导体管芯中的第一管芯的中心相对于所述多个半导体管芯中的第二半导体管芯的中心交错。

9.根据权利要求7所述的方法，其中放置所述多个半导体管芯的步骤包括：放置第一半导体管芯和第二半导体管芯，其中所述第一半导体管芯和所述第二半导体管芯不具有基本上相等的面积，并且其中所述第一半导体管芯和所述第二半导体管芯的周边具有相同的形状，以及其中所述第一半导体管芯和所述第二半导体管芯两者都被从所述半导体晶片中作为两个完整无缺的管芯切单出。

10.一种半导体管芯，包括：

半导体管芯，具有所述半导体管芯的顶表面的周边，以及

所述周边具有非矩形、多连通、具有沿着所述周边向外延伸的突出部、非对称的形状、或者具有至少一个曲线部分中的一种的形状。

11.根据权利要求10所述的半导体管芯，其中所述非矩形的形状包括三角形的形状、平行四边形的形状、具有沿着所述周边向外延伸的所述突出部的形状、多连通的形状、或者其中所述周边的一部分具有曲线形状的形状中的一种。

12.根据权利要求10所述的半导体管芯，其中所述半导体管芯的一个拐角具有与所述半导体管芯的其它拐角不同的形状。

13.根据权利要求10所述的半导体管芯，其中所述半导体管芯的一个拐角具有斜对角的形状。

14.根据权利要求10所述的半导体管芯，其中所述半导体管芯的至少一个拐角具有曲线形状。