[发明专利]激光表面加工装置及方法

权利要求书

1.激光表面加工装置，其特征是：包括发射M路激光束的激光源、将每路激光束分切成沿时间轴分布、循环照射的N组激光的分光装置，分光装置包括将M路激光束形成循环扫描激光的扫描光学装置、改变循环扫描激光方向的折反光学装置，其中M≥1，N≥2。

2.根据权利要求1所述的激光表面加工装置，其特征是：所述激光表面加工装置还包括聚焦光学装置，所述分光装置输出的M×N组激光经聚焦光学装置聚焦后输出。

3.根据权利要求1所述的激光表面加工装置，其特征是：所述聚焦光学装置是P个聚焦镜片，其中M×N＞P≥1。

4.根据权利要求1所述的激光表面加工装置，其特征是：所述聚焦光学装置是可调节位置、能将M×N组激光聚拢或发散的光学元件。

5.根据权利要求1所述的激光表面加工装置，其特征是：所述折反光学装置是具有M×N个面的反射镜或M×N个反射镜或M×N个折射镜。

6.根据权利要求1所述的激光表面加工装置，其特征是：所述扫描光学装置是具有回转功能或往复功能的镜片。

7.根据权利要求6所述的激光表面加工装置，其特征是：所述扫描光学装置是摆动镜。

8.根据权利要求6所述的激光表面加工装置，其特征是：所述扫描光学装置是可转动的、镜面按照周期或圆周分布的多面镜。

9.激光表面加工方法，其特征是：激光源发射M路激光束，每路激光束经分光装置分光后，形成沿时间轴分布、循环照射的N组激光，M×N组激光作用于相对运动的工件表面，其中M≥1，N≥2。

10.根据权利要求9所述的激光表面加工方法，其特征是：所述分光装置包括用形成循环扫描激光的扫描光学装置、改变循环扫描激光方向的折反光学装置。

11.根据权利要求10所述的激光表面加工方法，其特征是：所述折反光学装置是具有M×N个面的反射镜或M×N个反射镜或M×N个折射镜。

12.根据权利要求10所述的激光表面加工方法，其特征是：所述扫描光学装置是具有回转功能或往复功能的镜片。

13.根据权利要求12所述的激光表面加工方法，其特征是：所述扫描光学装置是摆动镜。

14.根据权利要求12所述的激光表面加工方法，其特征是：所述扫描光学装置是可转动的、镜面按照周期或圆周分布的多面镜。

15.根据权利要求9所述的激光表面加工方法，其特征是：M×N组激光经聚焦光学装置聚焦后作用于工件表面。

16.根据权利要求15所述的激光表面加工方法，其特征是：所述聚焦光学装置是P个聚焦镜片，其中M×N＞P≥1。

17.改变物体表面摩擦状态的方法，其特征是：采用权利要求9～16中任意一项所述的加工方法。