[发明专利]掺杂气体供应设备以及掺杂气体供应方法

权利要求书

1.一种掺杂气体供应设备，其特征在于，包括：

第一掺杂气体源；

第二掺杂气体源；

第一气体切换装置，其输入端连接至所述第一掺杂气体源以及所述第二掺杂气体源，以便接通所述第一掺杂气体源和/或所述第二掺杂气体源；以及

第一气体质量流速控制器，其连接至所述第一气体切换装置的输出端。

2.根据权利要求1所述的掺杂气体供应设备，其特征在于，所述掺杂气体供应设备还包括：

第一氢气源；

与所述第一氢气源相连的第二气体质量流速控制器；以及

第一混合器，其连接至所述第一气体质量流速控制器的输出端以及所述第二气体质量流速控制器的输出端。

3.根据权利要求1或2所述的掺杂气体供应设备，其特征在于，所述掺杂气体供应设备还包括：第二氢气源，其与所述第一气体切换装置的输入端相连，用于当所述第一气体切换装置在不同掺杂气体之间切换时清理所述第一气体切换装置。

4.根据权利要求1或2所述的掺杂气体供应设备，其特征在于，所述第一气体切换装置包括：气体安全检测器，用于检测所述第一气体切换装置的漏气。

5.根据权利要求1或2所述的掺杂气体供应设备，其特征在于，所述第一气体切换装置包括：检查阀门，其被布置在气流方向上，以防止气体朝向气体供应源的回流。

6.一种掺杂气体供应方法，其特征在于，所述掺杂气体供应方法包括步骤：

提供第一掺杂气体源；

提供第二掺杂气体源；

提供第一气体切换装置，并且将其输入端连接至所述第一掺杂气体源以及所述第二掺杂气体源，以便接通所述第一掺杂气体源和/或所述第二掺杂气体源；以及

提供第一气体质量流速控制器，并且将其连接至所述第一气体切换装置的输出端。

7.根据权利要求6所述的掺杂气体供应方法，其特征在于，所述掺杂气体供应方法还包括步骤：

提供第一氢气源；

提供与所述第一氢气源相连的第二气体质量流速控制器；以及

提供第一混合器，并且将其连接至所述第一气体质量流速控制器的输出端以及所述第二气体质量流速控制器的输出端。

8.根据权利要求6或7所述的掺杂气体供应方法，其特征在于，所述掺杂气体供应方法还包括步骤：

提供第二氢气源，并且将其与所述第一气体切换装置的输入端相连，用于当所述第一气体切换装置在不同掺杂气体之间切换时清理所述第一气体切换装置。

9.根据权利要求6或7所述的掺杂气体供应方法，其特征在于，所述掺杂气体供应方法还包括步骤：

提供气体安全检测器，以检测所述第一气体切换装置的漏气。

10.根据权利要求6或7所述的掺杂气体供应方法，其特征在于，所述掺杂气体供应方法还包括步骤：

提供检查阀门，并且将其被布置在气流方向上，以防止气体朝向气体供应源的回流。