[发明专利]玻璃三维加工的装置及其方法

权利要求书

1.玻璃三维加工的装置，其特征在于：超短脉冲激光器(10)的输出端布置有光闸(16)，光闸(16)的输出端设置有扩束镜(15)，扩束镜(15)的输出端布置有45度全反射镜(11)，45度全反射镜(11)的输出端布置有三维动态聚焦系统，三维动态聚焦系统的输出端布置有远心场镜(14)，所述远心场镜(14)正对于平台(19)，所述平台(19)的上方还安装有吹气装置(20)；所述平台(19)包含X轴传送单元(8)、Y轴传送单元(1)、Z轴传送单元(3)和耐高温陶瓷基板(7)，X轴传送单元(8)包括X轴滑轨和控制X轴滑轨运动的电机，Y轴传送单元(1)包括Y轴滑轨和控制Y轴滑轨运动的电机，Z轴传送单元(3)包括Z轴滑轨和控制Z轴滑轨运动的电机，Y轴传送单元(1)安装于X轴传送单元的X轴滑轨上，Z轴传送单元(3)安装于Y轴传送单元的Y轴滑轨上，耐高温陶瓷基板(7)连接于Z轴传送单元的Z轴滑轨上，耐高温陶瓷基板(7)上固定玻璃样品(4)，玻璃样品(4)的左右两端分别连接集尘管。

2.根据权利要求1所述的玻璃三维加工的装置，其特征在于：所述超短脉冲激光器(10)是波长为532nm绿光波段的激光器。

3.利用权利要求1所述装置实现玻璃三维加工的方法，其特征在于包括如下步骤：

a)由三维动态聚焦系统将超短脉冲激光聚焦在玻璃内，伴随着激光异形扫描玻璃，整个加工过程呈现螺旋状加工；

b)由X轴传送单元、Y轴传送单元、Z轴传送单元移动平台；

c)平台上的集尘管，将扫描后的玻璃熔渣收集；

d)平台上的吹气装置将玻璃上表面加工的熔渣和粉尘颗粒吹走。