[发明专利]超短脉冲激光异形切割钢化玻璃的装置及其方法

权利要求书

1.超短脉冲激光异形切割钢化玻璃的装置，其特征在于：超短脉冲激光器(10)的输出端布置有光闸(16)，光闸(16)的输出端设置有扩束镜(15)，扩束镜(15)的输出端布置有45度全反射镜(11)，45度全反射镜(11)的输出端布置有三维动态聚焦系统，三维动态聚焦系统的输出端布置有远心场镜(14)，所述远心场镜(14)正对于平台(19)，所述平台(19)的上方还安装有吹气装置(20)；所述平台(19)包含耐高温陶瓷基板(2)和电阻丝加热装置(4)，吸气集尘装置(1)和电阻丝加热装置(4)布置于耐高温陶瓷基板(2)上。

2.根据权利要求1所述的超短脉冲激光异形切割钢化玻璃的装置，其特征在于：所述超短脉冲激光器(10)是波长为532nm绿光波段的激光器。

3.利用权利要求1所述装置实现超短脉冲激光异形切割钢化玻璃的方法，其特征在于包括如下步骤：

a)采用加热装置对玻璃进行加热；

b)由三维动态聚焦系统将超短脉冲激光聚焦在玻璃内，伴随着激光异形扫描玻璃，整个加工过程呈现螺旋状加工；

c)平台底部的吸气集尘装置，将扫描后的玻璃熔渣收集；

d)平台上的吹气装置将玻璃上表面加工的熔渣和粉尘颗粒吹走。