[发明专利]一种微型传感器用温度控制装置无效
| 申请号： | 201110006491.7 | 申请日： | 2011-01-13 |
| 公开（公告）号： | CN102135438A | 公开（公告）日： | 2011-07-27 |
| 发明（设计）人： | 李枚;施志贵;代刚;何晓平 | 申请（专利权）人： | 中国工程物理研究院电子工程研究所 |
| 主分类号： | G01D3/028 | 分类号： | G01D3/028;B81C1/00 |
| 代理公司： | 中国工程物理研究院专利中心 51210 | 代理人： | 翟长明;何勇盛 |
| 地址： | 621900 四*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 微型 传感 器用 温度 控制 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种微型传感器用温度控制装置，其特征在于：所述的温度控制装置包括衬底基板、微加热器、微温度敏感器、温度点控制电路，微加热器、微温度敏感器与衬底基板连接，微加热器、微温度敏感器与温度点控制电路电连接。
2.根据权利要求1所述的微型传感器用温度控制装置，其特征在于：所述的微加热器为电热式发热部件。
3.根据权利要求1所述的微型传感器用温度控制装置，其特征在于：所述的微温度敏感器为电阻式温度敏感部件。
4.根据权利要求1所述的微型传感器用温度控制装置，其特征在于：所述的温度点控制电路包括电阻信号检测部分和信号功率放大部分，电阻信号检测采用电阻电桥，与微温度敏感器相连接；信号功率放大部分与电阻桥输出端连接，将电桥输出的差模电压信号进行放大，同时完成功率放大；信号功率放大部分与微加热器相连接，输出加热电流；信号功率放大部分通过调整信号放大增益，使微型传感器机械敏感芯片局部环境温度稳定在预设温度点。
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