[发明专利]液体喷射头、液体喷射装置和压电元件

权利要求书

1.一种液体喷射头，其特征在于，具备与喷嘴开口连通的压力发生室和压电元件，该压电元件具有：第一电极；包含铁锰酸铋镧的压电体层，其形成在上述第一电极上；及第二电极，其形成在上述压电体层上，

上述压电体层，在粉末X射线衍射图案中，按照φ＝ψ＝0°测量时以20°＜2θ＜25°进行观测的衍射峰值的面积强度，为以20°＜2θ＜50°进行观测的衍射峰值的面积强度的总和的90％以上。

2.根据权利要求1所述的液体喷射头，其特征在于，

上述第一电极，包括含有氧化钛的第一氧化钛层、在上述第一氧化钛层上形成的且含有铂的铂层、在上述铂层上形成的且含有氧化钛的第二氧化钛层，

在上述第二氧化钛层上形成有上述压电体层。

3.根据权利要求1所述的液体喷射头，其特征在于，

上述第一电极，包括：含有铂的铂层；及包含镍酸镧的厚度为50nm以上的LNO层，其形成在上述铂层上，

在上述LNO层上形成有上述压电体层。

4.根据权利要求1～4中任一项所述的液体喷射头，其特征在于，

上述铁锰酸铋镧为下述通式表示的复合氧化物，

(Bi_1-x，La_x)(Fe_1-y，Mn_y)O₃(1)

其中，0.10≤x≤0.20，0.01≤y≤0.09。

5.根据权利要求4所述的液体喷射头，其特征在于，

0.17≤x≤0.20。

6.根据权利要求5所述的液体喷射头，其特征在于，

0.19≤x≤0.20。

7.根据权利要求4～6中任一项所述的液体喷射头，其特征在于，

0.01≤y≤0.05。

8.一种液体喷射装置，其特征在于，

具有权利要求1～7中任一项所述的液体喷射头。

9.一种压电元件，其特征在于，具有：

含有铁锰酸铋镧的压电体层；及

在上述压电体层上形成的电极，

上述压电体层，在粉末X射线衍射图案中，按照φ＝ψ＝0°测量时以20°＜2θ＜25°进行观测的衍射峰值的面积强度，为以20°＜2θ＜50°进行观测的衍射峰值的面积强度的总和的90％以上。