[发明专利]等能量脉波同步运动的雷射装置

权利要求书

1.一种等能量脉波同步运动的雷射装置，其特征在于，包含：

一共振腔，输出脉宽时间及能量稳定的多个脉波；

一光束开关调制器，选择性地让该共振腔输出的该些脉波其中之一通过；

一光束能量调制器，依据一功率回授信号调整通过该光束开关调制器的该脉波的能量后，输出该脉波以进行加工；

一光功率传感器，感测该光束能量调制器输出的该脉波的能量及脉宽时间；

一光回授控制器，电连接于该光功率传感器及该光束能量调制器之间，依据一加工运动信息及该光功率传感器感测的能量，而输出该功率回授信号至该光束能量调制器，其中，该加工运动信息包含该脉波与该加工件的相对运动参数；

一触发控制器，电连接至该光功率传感器及该光束开关调制器，该触发控制器触发该光束开关调制器开启并量测自触发至该光功率传感器检测到该脉波的一时间差，并根据该时间差与加工运动信息而校正该光束开关调制器开启时间点；及

一运动控制器，电连接至该光回授控制器及该触发控制器，传送该加工运动信息至该光回授控制器及该触发控制器。

2.如权利要求1所述的雷射装置，其特征在于，还包含：

一光束侦检器，检测该共振腔输出的该脉波的光形而取得至少一光质量参数；及

一光束质量控制器，依据该至少一光质量参数而调校该共振腔，并且，控制该共振腔内温度，而使该共振腔内达到热平衡。

3.如权利要求1所述的雷射装置，其特征在于，该共振腔还包含至少一非线性晶体。

4.如权利要求1所述的雷射装置，其特征在于，该共振腔还包含一孔径光栅，使该脉波为单模态。

5.如权利要求1所述的雷射装置，其特征在于，该质量开关为声光调制器。

6.如权利要求1所述的雷射装置，其特征在于，该光束开关调制器选自声光调制器及电光调制器的群组。

7.如权利要求1所述的雷射装置，其特征在于，该光束能量调制器为声光调制器。

8.如权利要求1所述的雷射装置，其特征在于，还包含：

一偏振器，将该光束能量调制器输出的该脉波圆极化后输出至该光功率传感器。

9.如权利要求1所述的雷射装置，其特征在于，还包含：

一选波器，位于该光束开关调制器与该光束能量调制器之间，选择仅该脉波的P波与S波其中之一通过该选波器。