[发明专利]压电谐振器

权利要求书

1.一种装置，包含：

第一电极，其中所述第一电极包含至少一个石墨烯层；

第二电极；以及

压电材料层，其布置在所述第一电极和所述第二电极之间，其中所述压电材料能够响应于向所述第一或第二电极的振荡电信号的施加在谐振频率处谐振。

2.根据权利要求1所述的装置，其中所述装置被配置成改变施加到所述第一电极的电压偏置。

3.根据权利要求1或2所述的装置，其中所述第一电极包含单个石墨烯层。

4.根据权利要求1或2所述的装置，其中所述第一电极包含多个石墨烯层。

5.根据任意前述权利要求所述的装置，其中所述第二电极包含至少一个石墨烯层。

6.根据任意前述权利要求所述的装置，其中所述谐振频率是射频。

7.根据任意前述权利要求所述的装置，其中所述装置还包含射频信号输入和电压偏置输入。

8.一种集成电路，合并了根据任意前述权利要求所述的装置。

9.一种电路板，包括根据权利要求8所述的集成电路。

10.一种便携式设备，包含根据权利要求1至7中任一项所述的装置、根据权利要求8所述的集成电路或根据权利要求9所述的电路板。

11.一种方法，包含：

提供第一电极，其中所述第一电极包含至少一个石墨烯层；

提供第二电极；以及

提供布置在所述第一电极和所述第二电极之间的压电材料层，其中所述压电材料能够响应于到所述第一或第二电极的振荡电信号的施加在谐振频率处谐振。

12.根据权利要求11所述的方法，还包含提供用于改变施加到所述第一电极的电压偏置的部件。

13.根据权利要求11或12所述的方法，其中所述第一电极包含单个石墨烯层。

14.根据权利要求11或12所述的方法，其中所述第一电极包含多个石墨烯层。

15.根据权利要求11至14中任一项所述的方法，其中所述第二电极包含至少一个石墨烯层。

16.一种操作设备的方法，该方法包含：

向包含第一电极、第二电极以及布置在所述第一电极和所述第二电极之间的压电材料层的装置施加振荡电信号，从而使所述压电材料在谐振频率处谐振，所述第一电极包含至少一个石墨烯层；以及

改变施加到所述装置的偏置电压。