[发明专利]分面反射镜装置

权利要求书

1.一种分面反射镜装置，其包含：

-分面元件，和

-支撑元件；

-所述支撑元件支撑所述分面元件；

-所述分面元件包含弯曲的第一支撑部分；

-所述支撑元件包含第二支撑部分；

-所述第二支撑部分形成支撑边缘，该支撑边缘限定大体线形接触区域，以支撑所述分面元件，其中，所述支撑边缘形成于在所述支撑元件内界定凹槽的壁的末端与所述支撑元件的平面上表面的相交处，所述平面上表面面向所述分面元件。

2.根据权利要求1所述的分面反射镜装置，其中，满足以下中的至少一项：

-所述第一支撑部分具有第一曲率，并且所述第二支撑部分具有第二曲率，所述第二曲率对应于所述第一曲率，使得在所述支撑边缘和所述分面元件之间大体存在线接触；以及

-所述支撑边缘由至少一个边缘区段形成；以及

-所述第一支撑部分在所述接触区域中具有球面。

3.根据权利要求1所述的分面反射镜装置，其中，满足以下中的至少一项：

-所述第一支撑部分具有第一曲率，并且所述第二支撑部分具有第二曲率，所述第二曲率对应于所述第一曲率，使得在所述支撑边缘和所述分面元件之间大体存在线接触；以及

-所述支撑边缘为连续的环形边缘；以及

-所述第一支撑部分在所述接触区域中具有球面。

4.根据权利要求1所述的分面反射镜装置，其中，

-通过粘性接合将所述分面元件连接至所述支撑元件。

5.根据权利要求1或4所述的分面反射镜装置，其中，

-经由与所述支撑边缘相邻的接合材料，将所述分面元件连接至所述支撑元件。

6.根据权利要求4所述的分面反射镜装置，其中，

-在所述支撑边缘和所述第一支撑部分之间的接触区域中，将所述分面元件粘连地连接至所述支撑元件。

7.根据权利要求4或6所述的分面反射镜装置，其中，

-通过胶合接合技术，将所述分面元件连接至所述支撑元件。

8.根据权利要求1所述的分面反射镜装置，其中，

-通过选自焊接、熔接、扩散接合的至少一种接合技术，将所述分面元件连接至所述支撑元件。

9.根据权利要求8所述的分面反射镜装置，其中，

-通过选自激光焊接和激光熔接的至少一种接合技术，将所述分面元件连接至所述支撑元件。

10.根据权利要求5所述的分面反射镜装置，其中，满足以下中的至少一项：

-所述接合材料的至少大部分位于所述支撑边缘的背离所述凹槽的一侧；以及

-所述接合材料密封所述分面元件和所述支撑元件之间的间隙。

11.根据权利要求1所述的分面反射镜装置，其中，满足以下中的至少一项：

-所述支撑边缘为锐利的边缘，该锐利的边缘限定最小边缘曲率半径，所述最小边缘曲率半径小于3mm，以及

-以制造精度制造所述支撑边缘和所述分面元件，所述制造精度被选择为使得在所述支撑边缘的任意边缘点上，所述支撑边缘和所述分面元件之间的与制造公差相关的间隙的宽度小于10μm。

12.根据权利要求1所述的分面反射镜装置，其中，满足以下中的至少一项：

-所述支撑边缘为锐利的边缘，该锐利的边缘限定最小边缘曲率半径，所述最小边缘曲率半径小于0.5mm，以及

-以制造精度制造所述支撑边缘和所述分面元件，所述制造精度被选择为使得在所述支撑边缘的任意边缘点上，所述支撑边缘和所述分面元件之间的与制造公差相关的间隙的宽度小于0.5μm。