[发明专利]空气预处理设备

权利要求书

1.一种方法，包括：

在空气预处理设备的入口端接收空气流；

使空气流通过第一过滤器，其中第一过滤器包括第一组孔，所述第一组孔中每一孔均具有第一尺寸，以及其中第一过滤器配置为防止空气流中大于第一尺寸的第一颗粒通过；

使来自第一过滤器的空气流通过第二过滤器，其中第二过滤器包括第二组孔，所述第二组孔中每一孔均具有小于第一尺寸的第二尺寸，以及其中第二过滤器配置为防止空气流中已经通过第一过滤器且大于第二尺寸的第二颗粒通过；

从空气预处理设备的出口端排出空气流；以及

将第二颗粒输送至第一颗粒检测器。

2.根据权利要求1所述的方法，其中第一过滤器和第二过滤器是导电过滤器，所述导电过滤器配置为响应于由第一或第二过滤器捕获到颗粒而改变导电性。

3.根据权利要求2所述的方法，还包括：使用与第一或第二过滤器中至少一个过滤器相连的电路测量第一或第二过滤器中所述至少一个过滤器的导电性变化。

4.根据权利要求1所述的方法，还包括：使来自第二过滤器的空气流通过第三过滤器，其中第三过滤器包括第三组孔，所述第三组孔中每一孔均具有小于第二尺寸的第三尺寸，以及其中第三过滤器配置为防止空气流中已经通过第二过滤器且大于第三尺寸的第三颗粒通过。

5.根据权利要求4所述的方法，还包括：将第三颗粒输送至第二颗粒检测器。

6.根据权利要求1所述的方法，还包括：通过使空气流通过第一和第二过滤器达预定的时间段，将第一和第二颗粒积累到所需的浓度，并且在所述预定的时间段已经过去之后将第二颗粒输送至第一颗粒检测器。

7.根据权利要求1所述的方法，还包括：经由设置在入口端和第一过滤器之间的释放端口释放空气流中大于第一尺寸的颗粒。

8.一种空气预处理设备，包括：

入口端，配置为接收空气流；

出口端，配置为排出空气流；以及

多级过滤器，设置在入口端和出口端之间，并且配置为从空气流中过滤颗粒，其中所述多级过滤器包括：

第一过滤器，包括第一组孔，所述第一组孔中每一孔均具有第一尺寸，其中第一过滤器配置为防止空气流中大于第一尺寸的第一颗粒通过；以及

第二过滤器，包括第二组孔，所述第二组孔中每一孔均具有小于第一尺寸的第二尺寸，其中第二过滤器配置为防止空气流中已经通过第一过滤器且大于第二尺寸的颗粒通过；以及

第一释放端口，配置为将空气流中已经通过第一过滤器且大于第二尺寸的颗粒输送至第一颗粒检测器。

9.根据权利要求8所述的空气预处理设备，其中第一过滤器比第二过滤器更靠近入口端。

10.根据权利要求8所述的空气预处理设备，其中第一过滤器和第二过滤器是导电过滤器，所述导电过滤器配置为响应于由第一或第二过滤器捕获到颗粒而改变导电性。

11.根据权利要求10所述的空气预处理设备，还包括电路，所述电路配置为测量第一或第二过滤器中至少一个过滤器的导电性变化。

12.根据权利要求8所述的空气预处理设备，还包括第三过滤器，所述第三过滤器包括第三组孔，所述第三组孔中每一孔均具有小于第二尺寸的第三尺寸，其中第三过滤器配置为防止空气流中已经通过第二过滤器且大于第三尺寸的颗粒通过。

13.根据权利要求8所述的空气预处理设备，还包括第二释放端口，配置为将空气流中已经通过第二过滤器且大于第三尺寸的颗粒输送至第二颗粒检测器。

14.根据权利要求8所述的空气预处理设备，还包括第二释放端口，设置在入口端和第一过滤器之间，并且配置为释放空气流中大于第一尺寸的颗粒。

15.根据权利要求8所述的空气预处理设备，其中第一或第二过滤器中至少一个过滤器包括晶片，所述晶片包括配置为过滤空气流的多孔硅。