[发明专利]弯曲换能器、微型泵和微型阀的制造方法以及微型泵和微型阀

权利要求书

1.一种制造弯曲换能器的方法，所述弯曲换能器包括驱动构件和膜片，所述方法包括：

提供（1010）膜片（110）和驱动构件（210）；以及

在所述驱动构件和所述膜片（110）接合期间施加（1020）生产信号（U_生产）于所述驱动构件（210），使得在接合之后，所述驱动构件被预加应力，其中，所述生产信号为与操作所述弯曲换能器的操作信号相同的类型。

2.根据权利要求1所述的方法，其中，所述生产信号（U_生产）仅在接合已经终止之后释放。

3.根据权利要求1或2所述的方法，其中，借助于设置于所述驱动构件和所述膜片之间的接合材料来执行接合，以及其中，所述生产信号仅在所述接合材料硬化之后释放。

4.根据权利要求2或3所述的方法，其中，所述接合材料为胶水或者焊接材料。

5.根据权利要求2至4中任一项所述的方法，包括：

在所述驱动构件和所述膜片接合期间将所述驱动构件按压至所述膜片（110），其中，所述按压仅在所述接合材料硬化之后终止。

6.根据权利要求1至5中任一项所述的方法，其中，所述生产信号使得所述驱动构件（210）在接合期间处于收缩状态。

7.根据权利要求1至6中任一项所述的方法，其中，所述生产信号使得在接合之后所述弯曲换能器（110、210）呈现预鼓起形状，相对于所述驱动构件和所述膜片之间的接合表面在所述驱动构件的方向上预鼓起。

8.根据权利要求1至7中任一项所述的方法，其中，所述驱动构件（210）为压电驱动构件，所述生产信号（U_生产）为生产电压。

9.根据权利要求1至8中任一项所述的方法，其中，所述膜片（110）的温度系数大于所述驱动构件（210）的温度系数，其中，在比随后操作所述驱动构件的操作温度更高的生产温度下执行所述驱动构件（210）和所述膜片（110）的接合，并且所述生产信号使得所述驱动构件（210）在接合期间处于收缩状态。

10.根据权利要求9所述的方法，其中，所述驱动构件（210）为压电驱动构件（210），所述生产信号为正生产电压（U_生产），以及其中，所述膜片（110）包括金属或者合成材料。

11.根据权利要求1至8中任一项所述的方法，其中，所述膜片（110）的温度系数小于所述驱动构件（210）的温度系数，其中，在比随后操作所述驱动构件的操作温度更高的生产温度下执行所述驱动构件（210）和所述膜片（110）的接合，并且所述生产信号使得通过施加所述生产信号实现的第一类型预加应力过补偿通过不同温度系数实现的第二类型预加应力，所述第二类型预加应力与所述第一类型预加应力相反。

12.根据权利要求11所述的方法，其中，所述驱动构件为压电驱动构件，所述生产信号为正生产电压（U_生产），以及其中，所述膜片包括半导体材料。

13.一种用于制造微型泵的方法，所述微型泵包括：弯曲换能器，具有膜片（110）和驱动构件（210），其中，所述膜片形成泵膜片，并且适用于通过所述驱动构件在第一鼓起位置和第二较少鼓起位置之间移动；以及泵本体（120），连接至所述泵膜片，以界定所述泵本体与所述泵膜片之间的泵室；所述方法包括：

通过根据权利要求1至12中任一项所述的方法来制造所述弯曲换能器（110、210），使得当所述驱动构件未致动时，所述泵膜片在所述第一鼓起位置中呈现预鼓起形状。

14.一种用于制造微型阀的方法，所述微型阀包括：弯曲换能器，具有膜片和驱动构件，其中，所述膜片形成阀膜片，并且适用于通过所述驱动构件在第一位置和第二位置之间移动，以打开或关闭所述微型阀；所述方法包括：

通过根据权利要求1至12中任一项所述的方法来制造所述弯曲换能器。

15.根据权利要求14所述的方法，其中，所述第一位置为鼓起位置，并且所述第二位置为较少鼓起位置，以及其中，所述制造被执行为使得当所述驱动构件未致动时，所述阀膜片在所述第一鼓起位置中呈现预鼓起形状。