[发明专利]移动载置装置以及工件载置装置

说明书

技术领域

本发明涉及移动载置工件的移动载置装置、以及与该移动载置装置一起使用的工件载置装置。

背景技术

近年来，在移动载置（取放）例如太阳能电池晶片、锂电池的电极等比较薄的工件时，使用利用了非接触保持装置的移动载置装置，该非接触保持装置能够不与工件直接接触地保持工件。作为利用了此类非接触保持装置的移动载置装置，在专利文献1中公开了利用通过喷出高压空气来产生吸引力的伯努利吸盘的搬运装置（移动载置装置）。

专利文献1所公开的移动载置装置为从平板状工作台取出片状的基板（工件）并移动载置的装置，具有作为吸引机构的伯努利吸盘、和控制引导器，所述控制引导器设在与配置于平板状工作台的工件的端部抵接的位置，并且对工件的位置进行控制。该控制引导器包含形成有倾斜面的控制部，通过使工件的端部与形成于控制部的倾斜面抵接，来在利用伯努利吸盘吸引住片状的工件时，防止两者接触。另外，控制引导器在工件以被吸引的状态搬运时，利用控制部的倾斜面来限制工件的平面方向的移动。

专利文献1：日本特开2004－83180号公报

然而，一般来说，作为工件的太阳能电池晶片、锂电池的电极等，不仅厚度薄，强度也比较脆弱。然而，在专利文献1所公开的移动载置装置中，如上所述，通过使片状的工件的端部与形成于控制部的倾斜面抵接，来在利用伯努利吸盘吸引住片状基板时，防止两者接触。因此，在从平板状工作台取出片状的工件时，有可能产生工件的裂纹等破损。

并且，在专利文献1所公开的移动载置装置中，如果在从平板状工作台取出片状的工件时，伯努利吸盘以及控制引导器的位置相对于工件偏离，则有可能形成于控制部的倾斜面摩擦工件的周缘部。如此，在取出并保持工件时（拾取时），或者在载置工件时（放置时），如果工件的周缘部因摩擦而损坏边缘，则成为例如太阳能电池晶片等的性能恶化的重要因素。

发明内容

本发明是为了消除上述问题点而完成的，其目的在于提供一种移动载置装置、以及与该移动载置装置一起使用的工件载置装置，在从载置有工件的工件载置装置取出并保持工件时，以及在将所保持的工件载置于工件载置装置时，能够防止引导部件与工件的周缘部接触，该引导部件在搬运时防止工件的横向偏移。

本发明所涉及的移动载置装置具备：非接触保持单元，该非接触保持单元以非接触状态保持工件；基体部件，该基体部件安装有非接触保持单元；多个引导部件，这些引导部件在非接触保持单元的周围以搬运工件时包围该工件的方式相互隔开间隔地配置，且突出设置于基体部件；移动机构，该移动机构使基体部件在空间内移动，其特征在于，多个引导部件构成为至少一部分能够朝向相互分离的方向移动，在从载置有工件的工件载置装置取出工件时、或者在将所保持的工件载置于工件载置装置时，随着非接触保持单元靠近工件载置装置的工件载置面，多个引导部件的至少一部分沿着形成于工件载置装置的引导部朝向相互分离的方向移动。

根据本发明所涉及的移动载置装置，随着非接触保持单元靠近载置有工件、或者载置工件的工件载置装置的工件载置面，配置在非接触保持单元的周围的多个引导部件，沿着形成于工件载置装置的引导部朝向相互分离的方向移动。由此，在取出工件时、或者在载置工件时，多个引导部件分别向比工件的周缘部更靠外侧扩张。其结果是，在从载置有工件的工件载置装置取出工件时、或者在将所保持的工件载置于工件载置装置时，能够防止引导部件与工件的周缘部接触。

在本发明所涉及的移动载置装置中，优选多个引导部件配置为隔着非接触保持单元对置。如果以此方式进行配置，则在搬运工件时，能够有效地防止保持于非接触保持单元的工件的横向偏移。

本发明所涉及的移动载置装置具备施力部件，多个引导部件越是相互分离，上述施力部件越是对各个引导部件赋予使多个引导部件相互靠近的方向的作用力，随着非接触保持单元离开工件载置装置的工件载置面，多个引导部件借助施力部件的作用力而沿着形成于工件载置装置的引导部朝向相互靠近的方向移动。

在该情况下，随着非接触保持单元离开工件载置装置的工件载置面，在取出工件时扩张了的多个引导部件借助施力部件的作用力而朝向相互靠近的方向移动，例如，向与工件的周缘部大致抵接的位置移动。由此，在搬运被保持的工件时，能够适当地限制工件的横向移动。

在本发明所涉及的移动载置装置中，优选引导部件包含圆筒状的基端部、以及从该基端部连续的圆锥状的末端部。如果这样做，则在搬运工件时，能够进一步减小工件的周缘部与引导部件的接触面积。并且，在引导部件被形成于工件载置装置的引导部引导时，能够使该引导部件更加顺畅地移动。