[发明专利]用线锯切断工件的切断方法以及线锯

说明书

技术领域

本发明涉及用线锯切断半导体晶锭（ingot）等的方法及线锯。

背景技术

近年来，例如作为由半导体晶锭等工件一次性切出多个薄片（晶片）的装置已知有线锯（wire saw）。该线锯包括锯丝送出卷筒（bobbin）、多个导轮（guide roller）、以及锯丝卷取卷筒，其中，从上述线锯送出卷筒引出的切断用锯丝卷绕于上述各导轮的周围之后被回收于锯丝卷取卷筒。该切断用锯丝通过上述两个卷筒以及导轮的旋转而沿着该锯丝的长度方向被高速驱动。在此驱动过程中，沿着大致垂直于在特定的导轮之间排列的多根锯丝的方向切断送出（cutting-feed）由上述半导体晶锭等构成的工件，从而由工件同时切断出多个薄片。

在如上所述的线锯中，为了稳定地切断工件，需向上述锯丝赋予一定以上的张力，然而，该张力越高则施加于锯丝卷取卷筒的机械性负担变大。即，锯丝卷取卷筒所卷取的锯丝的张力越高，则该锯丝更易于陷入该锯丝卷取卷筒的外周面，缩短该卷筒的寿命的可能性变高。此外，当上述锯丝上贴有固定磨粒时，在上述锯丝卷取卷筒上，锯丝彼此压接的力变高，因此，存在该磨粒易于脱落的问题。

作为解决此种问题的方法，可考虑使用上述的张力调整装置，将卷取侧的锯丝张力设定为低于送出侧的锯丝张力。然而，在上述线锯中，作为驱动上述锯丝的驱动方式采用使该锯丝沿前进方向（从锯丝送出卷筒朝向锯丝卷取卷筒的方向）和后退方向（从锯丝卷取卷筒朝向锯丝送出卷筒的方向）交替移动的往复驱动方式较多，在使用此种往复驱动方式运行线锯的情况下，若进行如上所述的张力调节，则有可能加工效率显著下降。

即，在上述往复驱动方式中，若突然使锯丝的驱动方向逆转，则会发生较强的冲击，因此，实际上需进行使该锯丝一旦减速而停止，从其停止状态开始朝向逆方向的驱动，并逐渐加速至目标速度的操作，此种驱动方向的反转需要时间。还有，当使上述锯丝的驱动方向逆转时，需将至此为止降低张力的卷取侧的锯丝张力提高，反之，将赋予高张力的送出侧的锯丝张力降低，而且，若突然进行此种张力的变动，有可能会发生锯丝的断线等，因此，该锯丝张力的增减也需要一定程度地花费时间而缓慢进行。因此，不仅上述锯丝的驱动方向的反转需要时间，而且伴随该反转的张力的增减也需要时间。

为此，下述专利文献1中提出了在为使上述锯丝的驱动方向逆转而使锯丝驱动速度减速的过程中，进行将至此为止降低张力的卷取侧的锯丝张力提高，并且，将赋予高张力的送出侧的锯丝张力降低的调节，从而减少时间浪费的方法。

然而，在该方法中，在锯丝驱动速度的减速过程中，由于进行提高卷取侧的锯丝张力的同时降低送出侧的锯丝张力的调节，因此，通过该调节而张力降低的锯丝部分进入导轮之间的区域即切断工件的区域，由此，有可能对该工件的加工精度造成坏影向。

专利文献1：日本专利公开公报特开2007-276054号

发明内容