[发明专利]LiCoO2烧结体的制造方法及溅射靶材

权利要求书

1.一种LiCoO₂粉末的制造方法，包括：

用冷等静压法以1000kg/cm²以上的压力使LiCoO₂粉末预成型，

在1050℃以上1120℃以下的温度下对所述LiCoO₂粉末的预成型体进行烧结。

2.根据权利要求1所述的LiCoO₂粉末的制造方法，其中对所述预成型体进行烧结的工序为将所述预成型体在所述温度下保持2小时以上。

3.根据权利要求2所述的LiCoO₂粉末的制造方法，其中对所述预成型体进行烧结的工序为在大气中或氧气氛中对所述预成型体进行烧结。

4.根据权利要求1所述的LiCoO₂粉末的制造方法，其中使所述LiCoO₂粉末预成型的工序包括：

对所述LiCoO₂粉末添加粘结剂的工序；

用冷等静压法使添加了所述粘结剂的所述LiCoO₂粉末成型的工序；

使添加了所述粘结剂的所述LiCoO₂粉末的成型体破碎的工序；

用冷等静压法使破碎后的所述LiCoO₂粉末成型的工序。

5.根据权利要求4所述的LiCoO₂烧结体的制造方法，进一步包括：

在对所述预成型体进行烧结的工序之前，在低于烧结温度的温度下对包含所述粘结剂的所述LiCoO₂粉末的预成型体进行脱脂。

6.一种溅射靶材，所述溅射靶材由LiCoO₂烧结体构成，具有90％以上的相对温度、3kΩ·cm以下的电阻率、20μm以上50μm以下的平均粒径。