[发明专利]用于加工工件的方法和装置

权利要求书

1.一种用于加工工件(12)的方法，其中

—采用无接触式剥蚀方法在加工区域(18)中剥蚀工件(12)的材料；和

—以工件(12)的固有谐振频率进行激励振动，由此来激励工件(12)，或者以工件(12)与耦接部件(20)的共同的固有谐振频率进行激励振动，由此来激励由工件(12)和牢固地与工件(12)耦接的耦接部件(20)构成的复合体，

其中该固有谐振频率经过选择，使得在加工区域(18)中出现振动，这种振动具有相对于激励振动的振动幅度(X_A)来说最大的振动幅度(X_W_MAX)。

2.如权利要求1所述的方法，其中使得工件(12)直接地或者通过耦接部件(20)牢固地与促动器(14)耦接，

其中促动器(14)以一振动频率激励工件(12)或者激励由工件(12)和牢固地与工件(12)耦接的耦接部件(20)构成的复合体，该振动频率等于工件(12)的固有谐振频率，或者等于工件(12)与耦接部件(20)的固有谐振频率。

3.如前述权利要求中任一项所述的方法，其中加工区域(18)中的振动的最大振动幅度(X_W_MAX)等于促动器(14)的振动的最大振动幅度(X_A_MAX)。

4.如权利要求2和3中任一项所述的方法，其中在促动器(14)与工件(12)之间的、或者在促动器(14)与由工件(12)和牢固地与工件(12)耦接的耦接部件(20)构成的复合体之间的接触部位上，存在有促动器(14)的振动的最大振动幅度(X_A_MAX)。

5.如前述权利要求中任一项所述的方法，其中工件(12)的固有谐振频率经过选择，使得加工区域(18)中的振动的方向优选位于造型的工具(16)的加工方向上。

6.如前述权利要求中任一项所述的方法，其中无接触式剥蚀方法是具有预定的脉冲频率的电腐蚀法。

7.如权利要求1至5中任一项所述的方法，其中无接触式剥蚀方法是具有预定的脉冲频率的激光烧蚀法。

8.如权利要求6和7中任一项所述的方法，其中无接触式剥蚀方法的脉冲频率与促动器(14)的激励频率相互同步。

9.一种用于加工工件(12)的装置(10)，该装置被构造用于

—采用无接触式剥蚀方法在加工区域(18)中剥蚀工件(12)的材料；和

—以工件(12)的固有谐振频率进行激励振动，由此来激励工件(12)，或者以工件(12)与耦接部件(20)的共同的固有谐振频率进行激励振动，由此来激励由工件(12)和牢固地与工件(12)耦接的耦接部件(20)构成的复合体，

其中该固有谐振频率经过选择，使得在加工区域(18)中出现振动，这种振动具有相对于激励振动的振动幅度(X_A)来说最大的振动幅度(X_W_MAX)。

10.如权利要求9所述的装置(10)，该装置具有促动器(14)，该促动器被构造用于直接地或者通过耦接部件(20)牢固地与工件(12)耦接。

11.如权利要求10所述的装置(10)，其中促动器(14)是压电促动器。

12.如权利要求9至11中任一项所述的装置(10)，该装置具有保持装置(22)，该保持装置与耦接部件(20)的一个区段(24)耦接，在该区段中出现具有最小的振动幅度(X_MIN)的振动。

13.如权利要求9至12中任一项所述的装置(10)，其中耦接部件(20)具有在耦接部件(20)的纵向上延伸的介质输送沟槽(26)，该介质输送沟槽(26)具有介质入口(28)，该介质入口设置在耦接部件(20)的一个区段(24)中，在该区段中出现具有最小的振动幅度(X_MIN)的振动。