[发明专利]具有微米/纳米图案的注塑成型工具

权利要求书

1.一种在注塑成型工具的作用表面之中或之上制造微米/纳米结构图案的方法，该方法包括：

提供注塑成型工具；

提供微米/纳米结构压印设备，其具有要被压印到所述工具内的结构；以及

将该压印设备应用于所述作用表面之中或之上，以便当该压印设备至少部分位于在注塑成型工具的型腔内时将所述微米/纳米图案结构转移给所述工具。

2.根据权利要求1所述的方法，其中压印所述微米/纳米图案的所述作用表面在宏观范围内是非平面的。

3.根据权利要求1或者2所述的方法，其中压印所述微米/纳米图案的所述作用表面在宏观范围内是弯曲的。

4.根据权利要求1所述的方法，当注塑成型工具为组装形式时，上述组装形式准备好，或者基本上准备好用于注塑成型时，进行压印设备的应用。

5.根据权利要求1所述的方法，其中所述微米/纳米图案结构永久转移给该工具。

6.根据权利要求1所述的方法，其中所述微米/纳米图案被直接压印在工具之中或者之上。

7.根据权利要求1所述的方法，其中所述微米/纳米图案最初被压印在预制层里，所述预制层随后被处理以形成所期望的图案。

8.根据权利要求1所述的方法，其中所述压印设备包括第一和第二腔，第一和第二腔在所述压印设备中被柔性中间构件分隔开，该柔性中间构件包括具有微米/纳米压印图案的印模。

9.根据权利要求8所述的方法，该方法还包括：

将所述压印设备定位在所述工具上，以便在第二型腔内形成实质上气密的封闭体，该封闭体至少由相应工具表面和所述柔性中间构件来界定，并且，

改变所述第一和第二腔之间的相对压力，以便通过朝所述工具表面移动所述柔性中间构件引起所述第二腔的容积下降，从而将所述微米/纳米图案压印在工具之中或之上。

10.根据权利要求9所述的方法，其中所述压印设备具有容器状的形式，其具有要定位于所述工具上的开口端，该开口端限定出上述相应的工具表面。

11.根据权利要求8所述的方法，其中密封装置设置在所述压印设备的面对所述要被压印的工具的那一部分上，该密封装置设置成，与该工具表面相结合以提供所述第二腔实质上气密的密封。

12.一种在注塑成型工具的作用表面之中或之上制造微米/纳米图案结构的方法，该方法包括：

提供工具；

提供底板，该底板具有位于上部的微米/纳米结构图案，

将该底板定位在所述工具的该作用表面上，所述底板的下部面对所述工具；以及

固定所述底板在所述工具内的位置，

其中接收该底板的所述作用表面在宏观范围内是非平面的。

13.根据权利要求12所述的方法，其中接收该底板的所述作用表面在宏观范围为弯曲的。

14.根据权利要求12所述的方法，其中该底板能根据注塑工具的作用表面的形状而变形，优选通过塑性变形。

15.根据权利要求12所述的方法，其中该底板包括金属。

16.根据权利要求12所述的方法，其中该底板的定位是通过从底板上部的这一侧作用的相对过压力来完成。

17.根据权利要求16所述的方法，其中通过与所述注塑成型工具协同工作的注塑系统提供过压力，优选作为一种注塑成型工艺。

18.根据权利要求12所述的方法，其中该底板的定位是通过从所述底板下部的这一侧作用的相对真空来完成。

19.根据权利要求12所述的方法，其中所述底板的定位通过导向装置辅助完成。

20.一种注塑成型工具，其包括在该注塑工具作用表面之中或之上的微米/纳米图案结构，该结构根据如权利要求1所述的方法，或者根据如权利要求12所述的方法来转移。