[发明专利]用于在电镀设备中电接触处理物的装置和方法

权利要求书

1. 一种用于在所有类型的电镀设备中借助于接触件(2, 6)电接触电镀物(1)的装置，其中，阴极极化的所述接触件(2, 6)至少部分地位于电解质(12)中并且电接触所述电镀物，其特征在于至少一个接触件(2, 6)，其能够借助于冷却装置和/或冷却介质冷却。

2. 根据权利要求1所述的装置，其特征在于所述接触件(2, 6)的导电的表面，其为了电化学的金属析出在所使用的所述电解质(12)中不可或几乎不可金属化。

3. 根据权利要求1和2中至少一项所述的装置，其特征在于用于将蚀刻液体(27)输送到所述接触件(2)处的电解质输送装置，其由作为带有开口或喷嘴(25)的蚀刻液体管(21)的流动元件以及至少一个蚀刻液体泵和/或多路阀构成。

4. 一种用于在所有类型的电镀设备中借助于接触件(2, 6)电接触电镀物(1)的方法，其中，阴极极化的所述接触件(2, 6)至少部分地位于电解质(12)中并且电接触所述电镀物，在使用根据权利要求1所述的装置的情况下，其特征在于，所述接触件(2, 6)直接地或间接地借助于冷却介质或冷却装置如此地来冷却，使得在其表面上在所使用的所述电解质(12)中避免所述接触件(2, 6)的金属化。

5. 根据权利要求4所述的方法，其特征在于，通过所述接触件(2, 6)的提供接触的表面的材料的拒绝的特性，在其上在所使用的所述电解质(12)中电化学的金属化被避免。

6. 根据权利要求4和5中至少一项所述的方法，其特征在于，通过所述接触件(2)的表面借助于化学地和/或物理地决定的蚀刻液体(27)的化学的蚀刻来避免所述接触件(2)的持久的金属化。

7. 一种用于在所有类型的电镀设备中借助于接触件(2, 6)电接触电镀物(1)的装置，其中，阴极极化的所述接触件(2, 6)至少部分地位于电解质(12)中并且电接触所述电镀物，其特征在于所述接触件(2, 6)的至少提供接触的表面的材料，其在所使用的所述电解质(12)中不可或几乎不可电化学地金属化。

8. 根据权利要求7所述的装置，其特征在于接触件(2, 6)，其能够借助于冷却装置和/或冷却介质冷却。

9. 根据权利要求7和8中至少一项所述的装置，其特征在于用于将蚀刻液体(27)输送到所述接触件(2)处的电解质输送装置，其由作为带有开口或喷嘴(25)的蚀刻液体管(21)的流动元件以及至少一个蚀刻液体泵和/或多路阀构成。

10. 一种用于在所有类型的电镀设备中借助于接触件(2, 6)电接触电镀物(1)的方法，其中，阴极极化的所述接触件(2, 6)至少部分地位于电解质(12)中并且电接触所述电镀物，在使用根据权利要求7所述的装置的情况下，其特征在于，通过所述接触件(2, 6)的所使用的材料的特性，在所使用的所述电解质(12)中其表面被保持免于或几乎免于电化学的金属化。

11. 根据权利要求10所述的方法，其特征在于，所述接触件(2, 6)直接地或间接地借助于冷却介质或冷却装置如此地来冷却，使得其表面在所使用的所述电解质(12)中被保持免于或几乎免于电化学的金属化。

12. 根据权利要求10和11中至少一项所述的方法，其特征在于，通过所述接触件(2)的表面借助于由化学地和/或物理地决定的蚀刻液体(27)的化学的蚀刻来避免所述接触件(2)的持久的金属化。