[发明专利]用于至少局部地除去层堆叠的层的方法

权利要求书

1.用于至少局部地除去层堆叠（1）的至少一个半导体层（4）的方法，其中，加热光密金属化层（3），使得位于其上方的半导体层脱离。

2.按照权利要求1的方法，其特征在于，加热光密金属化层（3），使得位于其上方的半导体层（4）的具有较小导热性的和/或较低沸点的至少一种成分蒸发。

3.按照权利要求1或2的方法，其特征在于，从背离半导体层（4）的侧来加热光密金属化层（3）。

4.按照以上权利要求之一的方法，其特征在于，穿过一个或多个光学透明的层（2）来加热光密金属化层（3）。

5.按照以上权利要求之一的方法，其特征在于，借助激光器（11，18）实现加热。

6.按照以上权利要求之一的方法，其特征在于，借助ns激光器（11，18）实现加热。

7.按照以上权利要求之一的方法，其特征在于，借助脉动激光器（11，18）实现加热。

8.按照以上权利要求之一的方法，其特征在于，借助在截面上正方形的或圆形的光学光导将激光束映射到层堆叠（1）上。

9.按照以上权利要求之一的方法，其特征在于，加热光密金属化层（3），使得该光密金属化层（3）蒸发。

10.按照以上权利要求之一的方法，其特征在于，执行太阳能电池的边缘除层。

11.按照以上权利要求之一的方法，其特征在于，执行太阳能电池结构化。