[发明专利]压力式流量控制装置

权利要求书

1.一种压力式流量控制装置，其特征在于，

具有：

阀身，形成有流体通路；

阀部，夹设在上述流体通路中；

阀驱动部，驱动上述阀部而将上述流体通路开闭；

节流机构，设在上述流体通路的上述阀部的下游侧；

温度检测器，检测上述阀部与上述节流机构之间的气体温度；

压力检测器，检测上述阀部与上述节流机构之间的气体压力；

运算控制装置，基于上述温度检测器及压力检测器的各检测值运算在节流机构中流通的气体流量并且控制上述阀驱动部；

上述温度检测器插装在从上述阀身的上表面侧朝向其内方穿设在上述阀部与节流机构之间的出口侧流体通路的正上方的位置处的安装孔内。

2.如权利要求1所述的压力式流量控制装置，其特征在于，

上述温度检测器是热敏电阻温度检测器；

上述运算控制装置包括：

检测值修正机构，将上述热敏电阻温度检测器的温度检测值的误差修正；

压力修正机构，基于由该检测值修正机构修正后的修正值，将由上述压力检测器检测出的压力值修正。

3.如权利要求2所述的压力式流量控制装置，其特征在于，上述检测值修正机构基于关于上述热敏电阻温度检测器的检测温度的温度特性，将由上述热敏电阻温度检测器检测出的气体温度的误差修正。

4.如权利要求3所述的压力式流量控制装置，其特征在于，上述温度特性通过由两个以上的不同的温度得到的近似式建立了关系。

5.如权利要求3所述的压力式流量控制装置，其特征在于，

上述近似式是下述式1，

Y=aX+b    ???（式1）

（其中，Y是与热敏电阻温度检测器带来的检测温度对应的温度，X是与热电偶或白金测温电阻器带来的气体测量温度对应的温度，a及b是按照热敏电阻温度检测器的个体决定的常数）。

6.如权利要求5所述的压力式流量控制装置，其特征在于，在上述式1中，利用在20～26℃的范围中假定为Y=X的假设。

7.如权利要求1所述的压力式流量控制装置，其特征在于，将上述阀身设为下述结构的阀身：由阀主体、固定在该阀主体的一个侧面上的具有流体入口侧接头的流体入口侧连接部、和固定在上述阀主体的另一侧面上的具有流体出口侧接头的流体出口侧连接部形成，并且，在上述阀主体的与流体入口侧连接部对置的位置上设有过滤器保持部，此外在上述阀主体的与流体出口侧连接部对置的位置上设有节流机构保持部。

8.如权利要求1所述的压力式流量控制装置，其特征在于，还具备设在上述阀身的外侧面上、用来将在上述流体通路中流通的气体的温度保持为设定温度的加热用加热器。

9.如权利要求8所述的压力式流量控制装置，其特征在于，上述加热用加热器是将上述阀身加热到50℃～500℃的平板状的加热器或夹套型的加热器。

10.如权利要求1所述的压力式流量控制装置，其特征在于，使设在上述出口侧流体通路的正上方的温度检测器的安装孔为具有规定的深度的孔，并且使其底面与出口侧流体通路的上壁面的距离为0.1～5.0mm。

11.如权利要求1所述的压力式流量控制装置，其特征在于，具备在气体温度为50℃～500℃的范围中流量误差为1.0%F.S.以下的流量控制精度。

12.如权利要求1所述的压力式流量控制装置，其特征在于，上述阀驱动部是层叠型压电元件，通过将保持该阀驱动部的筒体保持件安装在上述阀身上、并且在向上述安装孔内插装的温度检测器的上方载置衬垫、将该衬垫的上表面通过设在上述筒体保持件上的凸缘部分推压固定，将上述温度检测器向上述阀身固定。

13.如权利要求1所述的压力式流量控制装置，其特征在于，压力检测器及温度检测器与上述阀身分体构成，为组合到阀身上的结构。