[发明专利]基板搬送装置、基板搬送方法、曝光装置及元件制造方法

权利要求书

1.一种基板搬送装置，具备：

搬入装置，经由第1路径将基板搬入至基板保持装置的保持面，该保持面与既定的二维平面平行；以及

搬出装置，经由与该第1路径不同的第2路径将被保持于该基板保持装置的该保持面上的该基板从该基板保持装置的该保持面搬出至支承装置，其中，

该搬入装置将第2基板从该支承装置搬到保持第1基板的该保持面上方，该第2基板与该第1基板不同，

以在与该既定的二维平面正交的铅直方向的位置中与该保持面不重叠且在与该既定的二维平面平行的方向的位置中与该保持面不重叠的范围下，该搬出装置保持该第1基板且使该第1基板相对该基板保持装置移动于与水平面平行的单轴方向的一侧，据以将该第1基板从该保持面搬出至该支承装置，且

该搬入装置使该第2基板从该基板保持装置上方降下，据以将该第2基板搬入至其中该第1基板已经从该保持面搬出去的该保持面。

2.如权利要求1所述的基板搬送装置，其中，该基板在装载于既定基板支承构件上的状态，被该搬入装置及该搬出装置搬送。

3.如权利要求2所述的基板搬送装置，其中，该搬入装置及该搬出装置的至少一方，包含保持该基板支承构件的该单轴方向的一端侧的第1保持构件、与保持该基板支承构件的另一端侧的第2保持构件；

该第1保持构件与该第2保持构件彼此连结，以共通的致动器加以驱动。

4.如权利要求2所述的基板搬送装置，其进一步具备该基板保持装置；

该基板保持装置包含具有与水平面平行的该保持面的保持构件，于该保持面上装载基板。

5.如权利要求4所述的基板搬送装置，其中，该搬入装置将该基板支承构件插入形成在该基板保持装置的该保持面的槽部内，据以将该基板从该基板支承构件上换成装载于该基板保持装置上。

6.如权利要求4所述的基板搬送装置，其中，该基板支承构件具有由延伸于与该水平面平行的第1方向、且于该水平面内在与该第1方向正交的第2方向以既定间隔设置的多个棒状构件构成并且将该基板从下方加以支承的支承部，该支承部被收容在形成于该保持面的槽部内。

7.如权利要求6所述的基板搬送装置，其中，该基板支承构件进一步具有将该多个棒状构件的长边方向一端彼此加以连接的连接部。

8.如权利要求6所述的基板搬送装置，其中，该搬入装置与该基板支承构件插入该槽部内的动作连动，将该基板从该基板支承构件上交至该基板保持装置上。

9.如权利要求8所述的基板搬送装置，其中，该基板支承构件在该基板装载于该基板保持装置的该保持面上的状态，与该基板下面分离。

10.如权利要求6所述的基板搬送装置，其中，该支承部包含支承该基板的该第2方向一侧区域的第1支承部、与支承该基板的该第2方向另一侧区域的第2支承部；

该搬入装置及该搬出装置的至少一方藉由控制该第1及第2支承部的该第1方向位置，据以控制该基板绕与该水平面垂直的轴的位置。

11.如权利要求6所述的基板搬送装置，其中，该基板支承构件进一步具有防止被支承于该支承部的该基板脱落的脱落防止构件。

12.如权利要求11所述的基板搬送装置，其中，该脱落防止构件由从该棒状构件往上方突出的多个突起状构件所构成。

13.如权利要求6所述的基板搬送装置，其中，该支承部具有吸附保持该基板的吸附部。

14.如权利要求6所述的基板搬送装置，其中，至少于该支承部施有抑制光反射的表面处理。

15.如权利要求6所述的基板搬送装置，其中，至少于该支承部施有抑制释气发生的表面处理。

16.如权利要求6所述的基板搬送装置，其中，该基板支承构件在彼此相邻的该棒状构件长边方向中间部，进一步具备架设在该棒状构件上端部间的补强构件。

17.如权利要求16所述的基板搬送装置，其中，该补强构件被收容在形成于该基板保持装置的该保持面的凹部内。

18.如权利要求6所述的基板搬送装置，其中，该基板支承构件进一步具备在与该水平面平行移动时，使铅直方向向下的升力作用于该支承部的空力构件。