[发明专利]扫描电子显微镜有效
| 申请号： | 201080052970.6 | 申请日： | 2010-11-12 |
| 公开（公告）号： | CN102668013A | 公开（公告）日： | 2012-09-12 |
| 发明（设计）人： | 岩谷彻;高堀荣;大泷智久;波多野治彦 | 申请（专利权）人： | 株式会社日立高新技术 |
| 主分类号： | H01J37/143 | 分类号： | H01J37/143;H01J37/04;H01J37/141;H01J37/28 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 张宝荣 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 扫描 电子显微镜 | ||
【权利要求书】：
1.一种扫描电子显微镜，其利用会聚透镜使从电子源放出的电子线会聚而向试料上照射，并对来自试料的二次电子、反射电子、其它的信号进行检测，从而观察试料，所述扫描电子显微镜的特征在于，
所述会聚透镜具有电磁线圈型及永久磁铁型这两种。
2.根据权利要求1所述的扫描电子显微镜，其特征在于，
最上段的所述会聚透镜为永久磁铁型。
3.根据权利要求1或2所述的扫描电子显微镜，其特征在于，
在所述永久磁铁型的会聚透镜的下部、同轴及上部中的至少一部分处具有对所述电子线的光轴进行修正的偏转器。
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