[发明专利]超声检测设备和超声诊断设备

权利要求书

1.一种超声检测设备，包括：

电容式机电换能器，包括具有被设置为相对且隔开一空间的第一电极和第二电极的单元；

电压源，用于在该第一电极与第二电极之间产生电势差；和

电路，用于将由由于第二电极的振动导致的第一电极与第二电极之间的静电电容的变化引起的电流转换成电压，

其中，该电容式机电换能器提供具有相对于某一频率具有第一截止频率的高通特性的输出电流，

其中，该电路提供具有相对于所述频率具有第二截止频率的低通特性的输出，以及，

其中，该第二截止频率比第一截止频率小。

2.根据权利要求1所述的超声检测设备，其中，该电容式机电换能器包含配置于基板上的第一电极、被设置为与第一电极相对的第二电极、保持在第一电极与第二电极之间的绝缘体和空间、以及能够垂直振动地支撑第二电极的振动膜片。

3.根据权利要求1所述的超声检测设备，其中，在超声检测设备的频率特性中，该第一截止频率和第二截止频率的几何平均值处于0.4MHz到1.0MHz的范围中。

4.根据权利要求1所述的超声检测设备，其中，该第一电极和第二电极构成包含多个空间和多个第二电极或多个振动膜片的各个电容器，以及，

其中，该电容式机电换能器的输出电流的特性根据包含多个第二电极或多个振动膜片的机械特性的平均值和电容器的静电电容的因子来确定。

5.根据权利要求4所述的超声检测设备，其中，所述电容器被二维配置，以及，

其中该第二电极或振动膜片的振动信息能够被二维检测。

6.一种超声诊断设备，包括：

根据权利要求1所述的超声检测设备；

光源；和

处理由该超声检测设备检测的信号的信号处理系统，

其中，从光源发射的光被施加到待试验对象，由于向待试验对象施加的光引起的由光声效应产生的弹性波由该超声检测设备检测，并且检测结果由该信号处理系统处理以获取关于该待试验对象的信息。