[发明专利]产品的制造方法及制造系统

权利要求书

1.一种产品的制造方法，是制造系统(1、2、3、4、5、6)中的产品的制造方法，在该制造系统中，第1存储部(11)中储存对作为产品的制造条件的目标值进行表示的第1信息的第1装置(10、10A、10B)与基于所述目标值控制制造装置(30、30M)的第2装置(20、20A、20B)被设置在不同的区域中，该产品的制造方法包括：

所述第1装置向所述第2装置发送所述第1信息的步骤；

所述第2装置将所述发送来的所述第1信息储存到所述第2装置的第2存储部(21)的步骤；

所述第2装置基于所述第2存储部中储存的所述第1信息来控制所述制造装置，使该制造装置制造所述产品的步骤；

所述第2装置将制造所述产品时针对所述目标值的测量值、即第2信息储存到所述第2存储部的步骤；

所述第2装置在制造所述产品的步骤之后，从所述第2存储部中删除所述第1信息的步骤；

所述第2装置向所述第1装置发送所述第2信息的步骤；

所述第1装置将所述发送来的所述第2信息储存到所述第1装置的所述第1存储部的步骤；以及

所述第2装置在向所述第1装置发送了所述第2信息之后，从所述第2存储部中删除所述第2信息的步骤。

2.根据权利要求1所述的产品的制造方法，其中，

所述第1装置被设置在比设置有所述第2装置的区域(PA)安全等级高的区域(CA)。

3.根据权利要求1或2所述的产品的制造方法，其中，

还包括所述第1装置对所述第1信息进行加密的步骤，

所述第1装置在向所述第2装置发送所述第1信息的步骤中，以加密后的状态发送该第1信息。

4.根据权利要求1～3中任意一项所述的产品的制造方法，其中，

还包括所述第2装置对所述第2信息进行加密的步骤，

所述第2装置在向所述第1装置发送所述第2信息的步骤中，以加密后的状态发送该第2信息。

5.根据权利要求1～4中任意一项所述的产品的制造方法，其中，

所述第1装置在向所述第1存储部中储存所述第1信息以及/或者所述第2信息的步骤中，以加密后的状态向该第1存储部中储存该第1信息以及/或者第2信息。

6.根据权利要求1～5中任意一项所述的产品的制造方法，其中，

还包括：

所述第2装置将所述第1信息以及所述第2信息中的至少任意一个变更为相对值或者伪数据的步骤；以及

所述第2装置利用输出装置显示所述相对值或者所述伪数据的步骤。

7.根据权利要求1～6中任意一项所述的产品的制造方法，其中，

还包括：

在从所述第2存储部中删除所述第1信息的步骤之后，所述第2装置生成请求从所述第1装置向所述第2装置发送新的所述第1信息的请求信号的步骤；以及

所述第2装置向所述第1装置发送所述请求信号的步骤。

8.根据权利要求1～7中任意一项所述的产品的制造方法，其中，

所述制造装置具有分别进行用于制造该产品的处理的多个处理部(31a、31b、31c)，

所述制造方法包括：

所述第1装置按每个所述处理部将与该处理部对应的所述第1信息储存到所述第1存储部的步骤；

所述第2装置使所述请求信号中包含确定所述多个处理部的任意一个的第3信息，并发送包含该第3信息的所述请求信号的步骤；

所述第1装置向所述第2装置发送所述第1信息的步骤；

所述第2装置利用由所述第3信息确定出的处理部来进行基于所述第1信息的处理的步骤；

所述第2装置按每个所述处理部使由该处理部发送来的所述第2信息中包含所述第3信息，并将包含该第3信息的所述第2信息储存到所述第2存储部的步骤；

所述第2装置向所述第1装置发送包含所述第3信息的所述第2信息的步骤；以及

所述第1装置将发送来的所述第2信息储存到所述第1存储部的步骤。