[发明专利]压印用模具及其制造方法、压印装置和压印方法有效

专利信息
申请号: 201080047799.X 申请日: 2010-10-19
公开(公告)号: CN102574327A 公开(公告)日: 2012-07-11
发明(设计)人: 白鸟聪;坂本宽;海田由里子 申请(专利权)人: 旭硝子株式会社
主分类号: B29C59/04 分类号: B29C59/04;B29C59/02;H01L21/027;B29L7/00;B29L9/00
代理公司: 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 代理人: 刘新宇;张会华
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
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摘要:
搜索关键词: 压印 模具 及其 制造 方法 装置
【权利要求书】:

1.一种压印用模具,其中,

该压印用模具是通过如下方式形成的,即,对于表面上具有微细图案的一片以上的树脂薄膜在将该一片以上的树脂薄膜的端部彼此相对接的状态下进行熔接而使该一片以上的树脂薄膜相接合,从而将该一片以上的树脂薄膜做成环带状。

2.根据权利要求1所述的压印用模具,其中,

上述微细图案具有多个凸部和/或多个凹部,

该凸部和/或凹部之间的间距平均为1nm~10μm。

3.根据权利要求1或2所述的压印用模具,其中,

在成为环带状的树脂薄膜的外周面上具有微细图案。

4.根据权利要求1~3中任一项所述的压印用模具,其中,

模具的以接合线为中心线的宽度10mm的部分中的厚度的最大值与最小值之差为20μm以下,该接合线是将树脂薄膜的端部彼此相对接而对该端部进行熔接、接合而成的接合线。

5.一种压印用模具的制造方法,其中,

该制造方法用于制造权利要求1~4中任一项所述的压印用模具,

该制造方法包括:

将表面上具有上述微细图案的翻转图案的主模具的该翻转图案转印到树脂薄膜的表面上,获得在表面上形成有微细图案的树脂薄膜的工序;

使表面上具有微细图案的一片以上的树脂薄膜在使该一片以上的树脂薄膜的端部彼此相对接的状态下进行熔接而使该一片以上的树脂薄膜相接合,将该树脂薄膜做成环带状的工序。

6.根据权利要求5所述的压印用模具的制造方法,其中,

上述翻转图案具有与上述微细图案的凸部和/或凹部相对应的多个凹部和/或多个凸部,

该凹部和/或凸部之间的间距平均为1nm~10μm。

7.一种压印装置,其中,

该压印装置包括:

涂敷部件,其用于向移动的基材的表面涂敷光固化性组合物;

环带状的模具,其架设在多个辊上而进行循环转动,该环带状的模具与涂敷在上述基材的表面上的上述光固化性组合物相接触;

光照射部件,其在上述模具与上述光固化性组合物相接触的状态下,向上述光固化性组合物照射光;

上述环带状的模具为权利要求1~4中任一项所述的压印用模具。

8.一种压印装置,其中,

该压印装置包括:

环带状的模具,其架设在多个辊上而进行循环转动;

涂敷部件,其用于向上述模具的表面涂敷光固化性组合物;

光照射部件,其在涂敷于上述模具的表面上的光固化性组合物与移动的基材的表面相接触的状态下,向上述光固化性组合物照射光;

上述环带状的模具为权利要求1~4中任一项所述的压印用模具。

9.一种压印方法,其中,

该压印方法包括:

向移动的基材的表面涂敷光固化性组合物的工序;

使架设在多个辊上而进行循环转动的环带状的模具与涂敷在上述基材的表面上的上述光固化性组合物相接触的工序;

在上述模具与上述光固化性组合物相接触的状态下,向上述光固化性组合物照射光的工序;

作为上述环带状的模具,使用权利要求1~4中任一项所述的压印用模具。

10.一种压印方法,其中,

该压印方法包括:

向架设在多个辊上而进行循环转动的环带状的模具的表面涂敷光固化性组合物的工序;

使移动的基材与涂敷在上述模具的表面上的上述光固化性组合物相接触的工序;

在上述基材与上述光固化性组合物相接触的状态下,向上述光固化性组合物照射光的工序;

作为上述环带状的模具,使用权利要求1~4中任一项所述的压印用模具。

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