[发明专利]微型热传导率探测器、其制作方法及使用其的色谱系统

权利要求书

1.一种用于测量流体的热传导率的热通量传感器，所述热通量传感器包括：

腔室；

悬置在腔室中的加热元件；

至少两个电流接头，所述至少两个电流接头被构造成用于与加热元件交换电流；以及

至少两个测量接头，所述至少两个测量接头被构造成用于测量表示流体的热传导率的沿着加热元件的电压变化。

2.如权利要求1所述的热通量传感器，其特征在于，加热元件包括至少两个区，其中，至少两个测量接头沿着每个区设置，且被构造成用于测量相应区中的电压变化，所述电压变化表示流体的流率。

3.如权利要求1所述的热通量传感器，其特征在于，腔室包括第一支撑层和设置在第一支撑层上的第二支撑层，所述加热元件置于第一和第二支撑层之间。

4.如权利要求3所述的热通量传感器，其特征在于，加热元件设置在包括至少一个支持层的支撑垫上。

5.如权利要求3所述的热通量传感器，其特征在于，加热元件包括至少一个粘合层和设置在粘合层上的至少一个金属层。

6.如权利要求1所述的热通量传感器，其特征在于，热通量传感器是微型热传导率探测器。

7.一种用于测量流体的热传导率的热通量传感器，所述热通量传感器包括：

腔室，所述腔室在其中限定出流体流动方向；

第一加热元件，所述第一加热元件悬置在腔室中，且被构造成用于将到来的流体预加热到预定温度；以及

第二加热元件，所述第二加热元件悬置在腔室中，且在流体流动方向上定位在第一加热元件的下游，其中，第二加热元件被构造成用于探测由流动流体引起的沿着第二加热元件的热通量变化。

8.如权利要求7所述的热通量传感器，其特征在于，所述第二加热元件包括：

至少两个电流接头，所述至少两个电流接头被构造成用于与第一和第二加热元件中的至少一个交换电流；以及

至少两个测量接头，所述至少两个测量接头被构造成用于测量表示流体的热传导率的沿着第一和第二加热元件中的至少一个的电压变化。

9.如权利要求7所述的热通量传感器，其特征在于，所述腔室包括多个壁，其中，第一加热元件与腔室的壁中的至少一个壁间隔开第一距离，第二加热元件与腔室的壁中的至少一个壁间隔开第二距离，且第一距离和第二距离不同。

10.一种微尺度气相色谱系统，包括：至少一个注入器，所述注入器适于将包括多种分析物的流体样本提供到微尺度气相色谱系统中；至少一个分离柱，所述分离柱适于分离出流体样本的多种分析物的至少一部分；以及热通量传感器，所述热通量传感器适于探测在所述至少一个分离柱中分离出的多种分析物的至少一部分，所述热通量传感器包括：

腔室；

悬置在腔室中的加热元件；

至少两个电流接头，所述至少两个电流接头被构造成用于与加热元件交换电流；以及

至少两个测量接头，所述至少两个测量接头被构造成用于测量表示流体样本的多种分析物的至少一部分的热传导率的沿着加热元件的电压变化。

11.如权利要求10所述的微尺度气相色谱系统，其特征在于，所述至少一个分离柱和热通量传感器一体地形成。

12.如权利要求11所述的微尺度气相色谱系统，其特征在于，所述传感器是微型热传导率探测器。

13.如权利要求11所述的微尺度气相色谱系统，其特征在于，热通量传感器的腔室的横截面积与所述至少一个分离柱的横截面积相匹配。