[发明专利]气体传感器元件及其制造方法

权利要求书

1.一种气体传感器元件，其特征在于，具备：

支承体，由单晶硅基板构成，该单晶硅基板具备在厚度方向上相对着的表面和背面，且具备空洞部，该空洞部至少具有在所述表面开口的开口部；

基底绝缘层，层积下部绝缘层和上部绝缘层而构成，且具有背面被固定在所述支承体的所述表面上的固定部以及与所述固定部一体设置并位于所述支承体的所述开口部上的非固定部，所述下部绝缘层由氮化硅和氧化硅构成，所述上部绝缘层由氮氧化硅构成；

加热器布线图案，形成在所述下部绝缘层与所述上部绝缘层之间，在所述非固定部的中央部内具有电加热器部；

电极布线图案，形成在所述上部绝缘层的表面上，在所述非固定部具有检测用电极部；以及

感应膜，以覆盖所述检测用电极部的方式涂敷形成在所述非固定部的所述中央部上，

所述基底绝缘层的所述非固定部具备所述中央部以及连结所述中央部与所述固定部的四条连结部，

所述连结部包括沿着所述开口部的边缘部延伸的基部和从该基部向所述中央部延伸而连结于所述中央部的延伸部，

所述开口部的轮廓形状呈方形，

四条所述连结部的基部位于所述开口部的四角，所述基部形成为跨越构成所述开口部的所述边缘部的四条边之中形成对应的所述角的两条所述边。

2.根据权利要求1所述的气体传感器元件，其特征在于，

所述中央部具有圆板形状，

所述四条连结部的所述延伸部沿着针对所述四角虚拟的两条虚拟对角线而延伸。

3.根据权利要求1所述的气体传感器元件，其特征在于，

所述中央部具有圆板形状，

所述连结部的所述延伸部包括第一延伸部分以及第二延伸部分，

所述第一延伸部分沿着方形的所述开口部的边缘部的一边而延伸，且一端与所述基部接连，

所述第二延伸部分与该第一延伸部分的另一端接连，并与所述第一延伸部分正交，并向所述中央部延伸。

4.一种气体传感器元件，其特征在于，具备：

支承体，具备在厚度方向上相对着的表面和背面，且具备空洞部，该空洞部至少具有在所述表面开口的开口部；

基底绝缘层，层积多个绝缘层而构成，且具有背面被固定在所述支承体的所述表面上的固定部以及与所述固定部一体设置并位于所述支承体的所述开口部上的非固定部；

加热器布线图案，形成在所述基底绝缘层的内部，在所述非固定部的中央部内具有电加热器部；

电极布线图案，形成在所述基底绝缘层的表面上，在所述非固定部具有检测用电极部；以及

感应膜，以覆盖所述检测用电极部的方式形成在所述非固定部的所述中央部上，

所述基底绝缘层的所述非固定部具备所述中央部以及连结所述中央部与所述固定部的多条连结部，

所述连结部包括沿着所述开口部的边缘部而延伸的基部和从该基部向所述中央部延伸而连结于所述中央部的延伸部，

所述基部的最大宽度尺寸大于所述延伸部的最大宽度尺寸。

5.根据权利要求4所述的气体传感器元件，其特征在于，

所述开口部的轮廓形状呈方形，

四条所述连结部的基部位于所述开口部的四角。

6.根据权利要求5所述的气体传感器元件，其特征在于，

所述基部形成为跨越构成所述开口部的所述边缘部的四条边之中形成对应的所述角的两条所述边。

7.根据权利要求5所述的气体传感器元件，其特征在于，

所述中央部具有圆板形状，

所述四条连结部的所述延伸部沿着针对所述四角虚拟的两条虚拟对角线而延伸。

8.根据权利要求5所述的气体传感器元件，其特征在于，

所述中央部具有圆板形状，

所述连结部的所述延伸部包括第一延伸部分以及第二延伸部分，

所述第一延伸部分沿着方形的所述开口部的边缘部的一边而延伸，且一端与所述基部接连，

所述第二延伸部分与该第一延伸部分的另一端接连，并与所述第一延伸部分正交，并向所述中央部延伸。