[发明专利]清扫嘴和具备该清扫嘴的尘埃除去装置

说明书

技术领域

本发明涉及清扫嘴和具备该清扫嘴的尘埃除去装置。

背景技术

一般，在液晶显示面板、半导体器件等的制造中，对液晶显示面板、玻璃基板、晶片基板等被处理体进行成膜处理、蚀刻处理，所以当颗粒物等尘埃附着于该被处理体的表面时，这成为产品面板、产品芯片不良的原因。因此，使用将附着于被处理体的表面的尘埃除去的尘埃除去装置。

例如，作为气体抽吸型的尘埃除去装置，已知具备保持被处理体的保持台和圆筒状的吸入嘴的装置(例如，参照专利文献1)。这种尘埃除去装置的吸入嘴的排气口通过配管和尘埃收纳部等与真空泵等负压单元连结，通过该负压单元的驱动，产生被吸入到接近被处理体的吸入嘴的吸入口内的抽吸气流，吸入被处理体表面的尘埃并将其除去。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：特开平5-156033号公报

发明内容

发明要解决的问题

在如上述的通过抽吸除去尘埃的尘埃除去装置中，为了使被处理体表面的尘埃漂浮而从吸入嘴吸入到尘埃收纳部，需要大的抽吸力。因此，当负压单元的抽吸力小而不充分时，被处理体表面上的尘埃的除去性能变低。但是，当将抽吸力大的真空泵用作负压单元时，装置成本变高。

本发明是鉴于这样的方面而完成的，其主要目的在于：即使是小的抽吸力也使被处理体表面中的尘埃的除去性能提高。

用于解决问题的方案

为了达成上述目的，本发明是在吸入嘴内面的至少一部分设有用于捕获尘埃的粘附层。

具体地，第1至第6发明将清扫嘴作为对象，讲述如下技术方案，该清扫嘴具备吸入嘴，该吸入嘴在内部具有气体流路，且在一端形成有吸入口，并且在另一端形成有排气口，利用从上述吸入口吸入并从上述排气口排出的抽吸气流使附着于被处理体的表面的尘埃脱离。

即，第1发明的特征在于，在上述吸入嘴内面的至少一部分设有用于捕获上述尘埃的粘附层。

第2发明的特征在于，在第1发明的清扫嘴中，还具备整流单元，该整流单元使上述抽吸气流呈螺旋状地沿着上述吸入嘴内面。

第3发明的特征在于，在第2发明的清扫嘴中，上述整流单元是在顶端形成有喷出压缩气体的喷出口的喷出嘴，上述喷出口的压缩气体喷出方向的朝向相对于该吸入嘴内面设定成使压缩气体沿着上述吸入嘴内面。

第4发明的特征在于，在第1至第3发明中的任一项的清扫嘴中，上述气体流路以流路面积从上述吸入口侧朝向上述排气口侧逐渐变窄的方式越往里越窄地形成。

第5发明的特征在于，在第4发明的清扫嘴中，上述气体流路形成为流路直径从上述吸入口侧朝向上述排气口侧逐渐地缩小的圆锥台形状。

第6发明的特征在于，在第1至第5发明中的任一项的清扫嘴中，上述粘附层包含硅酮系粘附材料或者丙烯酸系粘附材料。

另外，第7发明涉及具备设为上述对象的清扫嘴的尘埃除去装置，其特征在于，具备：第1至第6发明中的任一项的清扫嘴；负压单元，其通过配管连接到上述吸入嘴的排气口，通过驱动使上述吸入嘴的内部成为负压状态；以及保持台，其保持被处理体，上述尘埃除去装置构成为：在使上述吸入嘴的吸入口与保持于上述保持台的被处理体对应的状态下，通过上述负压单元的驱动使上述吸入嘴的内部成为负压状态而产生抽吸气流，利用上述抽吸气流使附着于上述被处理体的表面的尘埃脱离，使该尘埃附着于吸入嘴内面的粘附层而捕获该尘埃。

—作用—

接着，对本发明的作用进行说明。

根据第1至第6发明，从被处理体脱离的尘埃被吸入到吸入嘴的内部并附着于吸入嘴内面的粘附层而被捕获。因此，与从吸入嘴将尘埃吸入到收纳部的情况相比，不必以大的抽吸力吸入尘埃。因此，即使是小的抽吸力也能使被处理体表面上的尘埃的除去性能提高。

根据第2发明，在吸入被处理体表面的尘埃的情况下，利用整流单元以抽吸气流呈螺旋状地沿着吸入嘴内面的方式整流。由此，在抽吸气流为从吸入口侧朝向排气口侧的直线状的情况下仅抽吸气流的一部分沿着吸入嘴内面，与此相对，抽吸气流的大部分沿着吸入嘴内面，并且沿着吸入嘴内面的距离变长了抽吸气流旋转的量。据此，呈螺旋状地被卷起的尘埃与抽吸气流一起被吸入嘴内面的粘附层有效地捕获，被处理体表面的尘埃良好地被除去。