[发明专利]具备旋转型门开闭装置的多晶硅铸锭制造装置

权利要求书

1.一种多晶硅铸锭制造装置，包括：真空室，具备一定大小；熔炉，具备于所述真空室内以收容硅原材料；加热器，通过加热熔融所述熔炉内的硅原材料；基座，具备于所述熔炉下侧；冷却板，进行散热以生长所述熔炉内熔融的硅；门开闭装置，具备于所述熔炉和所述冷却板之间并限制散热，以熔融或生长硅；温度传感器，测量所述熔炉的温度；及控制部，接收所述温度传感器的输出值并控制所述熔炉内的温度，以确保所述熔炉内的硅的熔融及均匀的生长；

其中，所述门开闭装置包括相隔一定间距形成开放部的第一门及第二门，且包括在所述第一门和所述第二门之间通过相对旋转选择性地开闭所述开放部的驱动部。

2.根据权利要求1所述的多晶硅铸锭制造装置，其特征在于：所述驱动部包括各旋转所述第一门及所述第二门的第一驱动马达及第二驱动马达。

3.根据权利要求2所述的多晶硅铸锭制造装置，其特征在于：所述第一门及第二门与所述第一驱动马达及第二驱动马达各结合于第一中空轴和第二中空轴进行旋转，所述第二中空轴插入第一中空轴的中空，而所述第一中空轴还具备支撑所述基座的下部的支撑轴。

4.根据权利要求3所述的多晶硅铸锭制造装置，其特征在于：所述支撑轴由所述第一中空轴延长形成，而在与所述基座接触的地方，还具备轴承。

5.根据权利要求3所述的多晶硅铸锭制造装置，其特征在于：所述支撑轴单独形成，而在与所述第一中空轴接触的地方，还具备轴承。

6.根据权利要求3所述的多晶硅铸锭制造装置，其特征在于：所述支撑轴贯通所述第一中空轴的中空形成，且单独固定于外部。

7.根据权利要求1所述的多晶硅铸锭制造装置，其特征在于：

所述驱动部，包括：

移送装置，包括上下移送所述第一门的轴；

驱动马达，旋转所述第二门；及

挂接部，各形成于第一门和第二门挂接固定，以根据所述第二门的旋转联动所述第一门。

8.根据权利要求7所述的多晶硅铸锭制造装置，其特征在于：所述轴插入结合于用于支撑所述基座的中空型支撑轴的中空并在轴末端具备板以通过所述移送装置上下移送所述第一门，而所述板结合于形成在所述中空型支撑轴的结合孔，以根据上下移送移送所述第一门。

9.根据权利要求1所述的多晶硅铸锭制造装置，其特征在于：所述驱动部还包括用以检测所述第一门及所述第二门的旋转量的编码器。

10.根据权利要求1至9的任一项所述的多晶硅铸锭制造装置，其特征在于：所述第一门及所述第二门以任意角度调节开放部的开放以调节吸热量。

11.一种多晶硅铸锭制造装置，在具备于一定大小的真空室内的熔炉中熔融硅原材料之后，通过门开闭装置的选择性开放露出冷却板，以生长熔融硅原材料，其中，所述门开闭装置包括相隔一定间距形成开放部的第一门及第二门，且包括在所述第一门和所述第二门之间通过相对旋转选择性地开闭所述开放部的驱动部。