[发明专利]测力传感器无效
| 申请号： | 201080041106.6 | 申请日： | 2010-11-16 |
| 公开（公告）号： | CN102510998A | 公开（公告）日： | 2012-06-20 |
| 发明（设计）人： | 平山元辉;梅津英治;石曾根昌彦 | 申请（专利权）人： | 阿尔卑斯电气株式会社 |
| 主分类号： | G01L1/22 | 分类号： | G01L1/22;H01L29/84 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 刘建 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 测力 传感器 | ||
【权利要求书】：
1.一种测力传感器，其特征在于，具备：
变位部，其由规定厚度的硅基板构成；
受压部，其位于所述硅基板的表背面的一方且承受来自外部的载荷；
多个压电电阻元件，其配置在成为该受压部的相反侧的所述硅基板的表背面的另一方上，且其电阻根据所述变位部的变位量而发生变化；
多个电连接支承部，其突出形成在所述硅基板的表背面的另一方上，与所述多个压电电阻元件分别电连接，并且在比该多个压电电阻元件靠周缘侧的位置将所述变位部支承成变位自如。
2.根据权利要求1所述的测力传感器，其特征在于，
所述多个电连接支承部设置在相对于所述变位部的平面中心对称的位置上。
3.根据权利要求2所述的测力传感器，其特征在于，
所述多个电连接支承部分别设置在呈俯视下矩形状的硅基板的角部。
4.根据权利要求1至3中任意一项所述的测力传感器，其特征在于，
所述电连接支承部由镍合金或具有导电性的硅构成。
5.根据权利要求1所述的测力传感器，其特征在于，
所述受压部为在所述变位部上鼓起的圆柱状或多棱柱状。
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