[发明专利]横向等值线的划线、缝缀、以及简化的激光器与扫描器控制

权利要求书

1.一种在工件划线时产生改善的缝缀的系统，至少包含：

至少一个激光器，所述激光器可操作以产生能够从所述工件的至少一部分除去材料的输出；以及

至少一个扫描器，所述扫描器可操作以引导来自所述至少一个激光器的输出以形成第一及第二划线片段；

其中所述扫描器的速度、所述激光器的切换、以及所述划线片段的图案化的至少之一被选择，以使所述工件上的所述第一划线与所述第二划线至少部分重迭。

2.如权利要求1所述的系统，其特征在于，上述的第一及第二划线片段利用不同的激光器及扫描器形成。

3.如权利要求1所述的系统，进一步包含

移动平台，所述移动平台可操作以支撑所述工件，所述移动平台并沿着纵向移动向量相关于所述扫描装置移动所述工件，所述移动平台包含至少一个固定部分及横向平移部分；以及

横向平移机构，所述横向平移机构可操作以横向平移所述扫描装置。

4.如权利要求1所述的系统，进一步包含光束仿形装置，用以测量来自所述激光的输出的位置或属性。

5.如权利要求1所述的系统，进一步包含用以确定所述工件的厚度的基材厚度传感器，并且其中所述激光器的焦点能够响应于所确定的厚度作调整。

6.如权利要求1所述的系统，进一步包含排气机构，所述排气机构用以排出所述划线工艺期间从所述工件剥离或以其他方式除去的材料。

7.如权利要求1所述的系统，进一步包含功率计，所述功率计用以测量入射在所述工件上的激光功率。

8.一种在工件划线时产生改善的缝缀的方法，至少包含以下步骤：

在所述工件上产生第一划线；

在所述工件上产生第二划线；以及

对用来引导至少一个激光光束以形成所述第一及第二划线的至少一个扫描器的速度、用来形成所述第一及第二划线的至少一个激光器的切换、以及所述划线片段的图案化的至少之一进行控制，从而使所述工件上的所述第一划线与所述第二划线至少部分重迭。

9.如权利要求8所述的方法，进一步包含以下步骤：通过可操作以两维地控制来自所述第一激光器的输出的位置的扫描装置，控制来自所述第一激光器的输出的位置。

10.如权利要求9所述的方法，进一步包含以下步骤：通过可操作以控制来自所述附加激光器的输出的位置的附加扫描装置，控制来自附加激光器的输出的位置。

11.如权利要求8所述的方法，其特征在于，所述工件上的第一划线与所述第二划线共线。

12.如权利要求8所述的方法，其特征在于，上述的工件上的第一及第二划线的至少之一的至少一部分具有非线性。

13.如权利要求8所述的方法，其特征在于，所述划线以固定速度执行。

14.一种在工件划线时产生改善的缝缀的系统，至少包含：

至少一个激光器，所述激光器可操作以产生能够从所述工件的至少一部分除去材料的输出；以及

至少一个扫描器，所述扫描器可操作以引导来自所述至少一个激光器的输出以形成第一及第二划线片段；

其中所述第一及第二划线片段的缝缀点被选择成基本上对应第三划线片段的位置，从而使所述第三划线片段用来在所述工件上的第一及第二划线片段偏移时连接所述第一及第二划线片段。

15.一种在工件划线时产生改善的缝缀的方法，至少包含以下步骤：

在所述工件上产生第一划线；

在所述工件上产生第二划线；以及

选择所述第一及第二划线片段的缝缀点以基本上对应第三划线片段的位置，从而使所述第三划线片段用来在所述工件上的第一及第二划线片段偏移时连接所述第一及第二划线片段。