[发明专利]振荡器装置

权利要求书

1.一种装置，其包括：

谐振器电极和通过间隙与所述谐振器电极分隔的第二电极，所述间隙具有这样的大小，所述大小被配置为促进跨所述间隙的电子转移，其中所述谐振器电极被安装以进行相对于所述第二电极的振荡运动，所述振荡运动导致所述谐振器电极和所述第二电极之间的所述间隙的大小随时间可变；

反馈电路，其被配置为将依赖于跨所述间隙的电子转移的电子转移信号作为反馈信号而进行传递；以及

用于驱动所述谐振器电极的驱动电极，其被配置为从反馈电路接收反馈信号，所述反馈电路被配置为提供依赖于跨间隙的电子转移的反馈信号。

2.如权利要求1所述的装置，其进一步包括电能源，其用于提供用于建立跨所述间隙的电压的恒定偏置电压。

3.如权利要求1或2所述的装置，其中所述反馈电路提供与所述谐振器电极处于相同的大小尺度的内部反馈。

4.如前述权利要求中的任一项所述的装置，其中所述谐振器电极是悬臂。

5.如前述权利要求中的任一项所述的装置，其中所述装置是纳米机电系统并且所述谐振器电极是纳米结构。

6.如前述权利要求中的任一项所述的装置，其中所述驱动电极的大小和位置被设置为使得所述驱动电极和所述谐振器电极之间的电容使能所述谐振器电极的自维持振荡运动。

7.如前述权利要求中的任一项所述的装置，其中，在使用中，跨间隙的电子转移的概率依赖于所述间隙的大小，跨随时间变化的间隙的电子转移产生随时间变化的反馈信号，并且被施加到所述驱动电极的随时间变化的反馈信号提供所述谐振器电极移动经过的随时间变化的场。

8.如前述权利要求中的任一项所述的装置，其中与所述谐振器电极相邻的所述驱动电极被配置为从所述反馈电路接收所述反馈信号。

9.如前述权利要求中的任一项所述的装置，其包括多个振荡器，其中每个振荡器包括：

谐振器电极和通过间隙与所述谐振器电极分隔的第二电极，所述间隙具有这样的大小，所述大小被配置为促进跨所述间隙的电子转移，其中所述谐振器电极被安装以进行相对于所述第二电极的振荡运动，所述振荡运动导致所述谐振器电极和所述第二电极之间的所述间隙的大小随时间可变；

反馈电路，其被配置为将依赖于跨所述间隙的电子转移的电子转移信号作为反馈信号而进行传递；以及

用于驱动所述谐振器电极的至少一个驱动电极，其被配置为从反馈电路接收反馈信号，所述反馈电路被配置为提供依赖于跨间隙的电子转移的反馈信号。

10.如权利要求9所述的装置，其中共同驱动电极用于所述多个振荡器中的一些或全部振荡器。

11.如权利要求9或10所述的装置，其中共同第二电极用于所述多个振荡器中的一些或全部振荡器。

12.如权利要求9、10或11所述的装置，其中第一振荡器的所述驱动电极被配置为从第二振荡器的所述反馈电路接收反馈信号。

13.如权利要求12所述的装置，其中所述第一振荡器的所述驱动电极被配置为不从所述第一振荡器的所述反馈电路接收反馈信号。

14.如权利要求9、10或11所述的装置，其进一步包括控制机制，所述控制机制被配置为选择哪些驱动电极从哪些振荡器接收反馈信号。

15.如权利要求9、10或11所述的装置，其进一步包括控制机制，所述控制机制被配置为选择性地连接第一振荡器的驱动电极以从多个振荡器中的任何振荡器接收所选择的反馈信号。

16.如权利要求9、10或11所述的装置，其进一步包括控制机制，所述控制机制被配置为组合所选择的多个振荡器的反馈信号以产生用于一个或多个驱动电极的组合的反馈信号。

17.一种装置，其包括：

谐振器电极和第二电极，其被配置为使得所述谐振器电极和所述第二电极的第一相对运动改变所述谐振器电极和所述第二电极之间的间隙；

用于传递依赖于跨所述间隙的电子转移的电子转移信号的部件；

用于维持跨非导电间隙的电子转移的概率依赖于跨所述间隙的距离的部件；以及

用于依赖于电子转移信号而改变所述谐振器电极移动经过的场的部件。