[发明专利]非接触式物体检查

权利要求书

1.一种通过分析投映在物体上的图案的相位检查物体的一范围的表面状况的非接触式方法，包括：

i)取得物体的第一图像，该第一图像从第一视角获得，光学图案投映在物体上；

ii)取得物体的第二图像，该第二图像从第二视角获得，光学图案投映在物体上，但其中所述第二图像中的光学图案当落到物体上时不同于所述第一图像中的光学图案；以及

iii)基于相位数据确定描绘物体的至少一个区域的表面状况的数据，所述相位数据与在所述第一图像中成像时的光学图案的至少一个区域的相位相关，其中使用从在所述第二图像中成像时物体的对应区域获得的相位数据来解决从所述第一图像中获得的相位或表面状况数据中的任何模糊。

2.根据权利要求1所述的方法，其中，步骤i)中的物体和光学图案的投影仪的相对位置和相对方位中的至少一个不同于步骤ii)中的物体和光学图案的投影仪的相对位置和相对方位。

3.根据权利要求1或2所述的方法，其中，通过公共光学图案投影仪单元提供在步骤i)中成像的光学图案的投影仪和在步骤ii)中成像的光学图案的投影仪，该公共光学图案投影仪单元包括至少一个投影仪，以及该方法还包括在步骤i)和ii)之间相对地移动物体和所述光学图案投影仪单元。

4.根据权利要求3所述的方法，包括相对于物体移动所述光学图案投影仪单元。

5.根据权利要求3或4所述的方法，其中，在步骤ii)成像的所述光学图案的所述投影仪是在步骤i)成像的所述光学图案的所述投影仪。

6.根据前述权利要求之一所述的方法，其中，步骤i)和步骤ii)中投映到物体上的所述光学图案是相同的。

7.根据前述权利要求之一所述的方法，其中，第一图像和至少第二图像通过公共成像器装置获得，该公共成像器装置包括至少一个图像传感器，并且该方法包括从第一视角向第二视角移动所述成像器装置。

8.根据权利要求3或7所述的方法，其中，所述光学图案投影仪单元和成像器装置相对于彼此处于固定的空间关系。

9.根据权利要求8所述的方法，其中，光学图案投影仪单元和成像器装置安装在坐标定位设备上。

10.根据权利要求8或9所述的方法，其中，光学图案投影仪单元和成像器装置单元作为单个探针提供。

11.根据前述权利要求之一所述的方法，包括将来自针对所述区域的所述第一图像的数据与源自针对至少一个区域的所述第二图像的数据相比较，以便识别相关区域数据，从而解决相位或表面状况数据中的任何模糊。

12.根据权利要求11所述的方法，其中，该方法包括迭代比较源自所述第一图像和所述第二图像的数据，以便通过推导解决相位或表面状况数据中的任何模糊。

13.根据前述权利要求之一所述的方法，其中，步骤iii)包括确定与物体的至少一个区域的不同可能的表面状况相关的多个不同数据组。

14.根据权利要求13所述的方法，其中，步骤iii)包括基于从所述第二图像获得的数据识别哪个数据组最精确地表征物体，以便解决相位或表面状况数据中的任何模糊。

15.根据权利要求13或14所述的方法，包括基于从所述第二图像获得的数据选择要使用的数据组。

16.根据权利要求13-15之一所述的方法，其中，步骤iii)包括确定所述多个不同数据组中的哪个数据组与从所述第二图像获得的数据最为吻合。

17.根据权利要求16所述的方法，其中，步骤iii)包括确定所述多个不同数据组中的哪个数据组与从所述第二图像获得的与物体的所述区域相关的数据最为吻合。

18.根据权利要求13-17之一所述的方法，其中，步骤iii)包括基于对所述第一视角和所述第二视角的了解，针对至少一些所述不同的数据组确定所述第二图像的、与物体的已经获得所述数据组所针对的区域相对应的部分。

19.根据权利要求13-17之一所述的方法，其中，步骤iii)包括确定所述多个不同数据组中的哪个数据组与从所述第二图像获得的数据的形式最为吻合。