[发明专利]复合传感器

权利要求书

1.一种复合传感器，具有：

第一单元，其包括相互对称地配置、且能够沿驱动方向及检测方向进行位移的第一及第二振动器；

第二单元，其包括相互对称地配置、且能够沿与所述驱动方向及所述检测方向相同的轴向进行位移的第三及第四振动器；

驱动部，其驱动所述第一、第二、第三及第四振动器，以使所述第一及第二振动器彼此、所述第三及第四振动器彼此以相互相反的相位进行振动，并使所述第一单元及所述第二单元彼此也以相互相反的相位进行振动；以及

检测部，其检测所述第一、第二、第三及第四振动器的所述检测方向的位移。

2.根据权利要求1所述的复合传感器，其中，

从由所述检测部检测出的所述第一、第二、第三及第四振动器的所述位移中抵消除去不必要的惯性力成分，并分别独立地检测加速度、角速度、角加速度及离心力。

3.根据权利要求1所述的复合传感器，其中，

所述驱动部及所述检测部与所述第一、第二、第三及第四振动器各自对应地分别具有第一、第二、第三及第四驱动部和第一、第二、第三及第四检测部。

4.根据权利要求1所述的复合传感器，其中，

所述第一单元和所述第二单元相向配置在呈线对称的位置上。

5.根据权利要求1所述的复合传感器，其中，

所述第一、第二、第三及第四振动器分别配置在呈点对称的位置上。

6.根据权利要求1所述的复合传感器，其中，

所述第一、第二、第三及第四振动器配置在同一基板上。

7.根据权利要求1所述的复合传感器，其中，

所述第一单元和所述第二单元重叠地配置。

8.根据权利要求1所述的复合传感器，其中，

所述第一单元和所述第二单元除了所述第一、第二、第三及第四振动器之外，还分别包括相同数量的追加振动器。

9.根据权利要求8所述的复合传感器，其中，

所述驱动部，在追加所述追加振动器的情况下，当所述第一单元内及所述第二单元内的振动器整体为偶数时，对所述追加振动器进行驱动，使得相位相反的振动器的数量相同，并且，当所述第一单元内及所述第二单元内的振动器整体为奇数时，使所述追加振动器进行振动，该追加振动器的相位与所述第一单元内及所述第二单元内的最接近该追加振动器的振动器的相位相反。

10.根据权利要求3所述的复合传感器，其中，

所述第一、第二、第三及第四检测部分别具有检测电极，该检测电极使固定在支撑体上的梳齿状的多个固定电极和多个可动电极彼此交替地相向配置，并通过电容的增减来检测所述位移；

所述固定电极与所述可动电极的在所述检测方向上的交替配置的位置关系为：配置成，当发生所述位移时在各个所述检测部内所述多个固定电极和所述多个可动电极仅产生电容的增加变化或减少变化，并且，所述第一、第二、第三及第四振动器中、由所述驱动部驱动的驱动方向为相反相位的所述振动器所对应的所述检测部彼此构成具有共同配置的对，且该对彼此具有不同的配置。

11.根据权利要求10所述的复合传感器，其中，

在所述第一、第三振动器彼此在所述驱动方向上配置在同侧、所述第二、第四振动器彼此在所述驱动方向上配置在同侧、且所述第一、第二检测部彼此和所述第三、第四检测部彼此分别构成所述对的情况下，

所述第一、第三检测部的所述检测电极配置成在所述第一、第三振动器位移时电容增加或减少；

所述第二、第四检测部的所述检测电极配置成在所述第二、第四振动器位移时产生与所述第一、第三检测部的所述检测电极的电容变化相反的电容变化。

12.根据权利要求10所述的复合传感器，其中，

在所述第一、第三振动器彼此在所述驱动方向上配置在同侧、所述第二、第四振动器彼此在所述驱动方向上配置在同侧、且所述第一、第二检测部彼此和所述第三、第四检测部彼此分别构成所述对的情况下，

所述第一、第二检测部的所述检测电极配置成在所述第一、第三振动器位移时电容增加或减少；

所述第三、第四检测部的所述检测电极配置成在所述第三、第四振动器位移时产生与所述第一、第二检测部的所述检测电极的电容变化相反的电容变化。