[发明专利]用于对工件进行淬火的方法和装置以及根据该方法被淬火的工件有效
| 申请号: | 201080040072.9 | 申请日: | 2010-09-06 |
| 公开(公告)号: | CN102625859A | 公开(公告)日: | 2012-08-01 |
| 发明(设计)人: | V·霍伊尔;K·勒泽;G·施密特;G·韦尔奇格 | 申请(专利权)人: | ALD真空技术有限公司 |
| 主分类号: | C23C8/02 | 分类号: | C23C8/02;C23C8/06;C23C8/20;C23C8/22;C23C8/24;C23C8/26;C23C8/80 |
| 代理公司: | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人: | 俞海舟 |
| 地址: | 德国*** | 国省代码: | 德国;DE |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 用于 工件 进行 淬火 方法 装置 以及 根据 | ||
1.用于对工件(6)进行淬火的方法,其包括下述步骤:
(a)将工件(6)加热到950℃至1200℃的温度,其中,每个工件(6)的表面的30至100%利用加热装置(110、120、130、140;210、220、230、240)的直接的热辐射被加热;
(b)在950℃至1200℃的温度和小于100毫巴的压力下,向工件(6)加载含碳的气体和/或含氮的气体;
(c)在950℃至1200℃的温度下,将工件(6)保持在压力小于100毫巴的气氛中;
(d)可选地将步骤(b)和(c)重复一次或多次;和
(e)冷却工件(6)。
2.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,在步骤(a)中,每个工件(6)借助来自两个或更多个空间方向的热辐射被加热。
3.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,在步骤(a)中,每个工件(6)的靠近表面的区域以35至135℃·min-1、优选50至110℃·min-1并且尤其是50至75℃·min-1的速率被加热。
4.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,在步骤(a)中,每个工件(6)的芯部以18至120℃·min-1的速率被加热。
5.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,在步骤(e)中,将在800至500℃的温度范围中的工件(6)以2至20kJ·kg-1·s-1的冷却比率冷却。
6.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,在步骤(b)中,向工件(6)加载乙炔和/或氨气。
7.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,在步骤(e)中,借助气体、优选氮气冷却工件(6)。
8.根据权利要求7所述的方法,其特征在于,借助氮气在2至20巴的压力、优选4至8巴并且尤其是5至7巴的压力下冷却工件(6)。
9.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,在步骤(e)中,在40至100秒之内将工件(6)的表面从900至1200℃的范围内的温度冷却为300℃的温度。
10.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,就一个工件(6)而言实施步骤(a)至(e)的周期时间为5至120秒、优选5至60秒并且尤其是5至40秒。
11.根据权利要求1至10所述的方法,其特征在于下述步骤:
(i)将工件(6)单层地布置在托架(5)中/上;
(ii)将带有工件(6)的托架(5)送入冷却室(190、290),冷却室抽真空至小于100毫巴的压力;
(iii)将托架(5)传送到渗碳室(110、120、130、140;210、220、230、240)中,其中,可选地将托架在送入渗碳室(110、120、130、140;210、220、230、240)之前暂时存放在停放接纳部中;
(iv)借助热辐射将工件(6)加热到950℃至1200℃的温度,其中,每个工件(6)的表面的30至100%借助渗碳室(110、120、130、140;210、220、230、240)的直接的热辐射被加热;
(v)在950℃至1200℃的温度和小于100毫巴的压力下,向工件(6)加载含碳的气体和/或含氮的气体;
(vi)在950℃至1200℃的温度下,将工件(6)保持在压力小于100毫巴的气氛中;
(vii)可选地一次或多次重复步骤(iv)和(v);
(viii)将带有工件(6)的托架(5)传送到冷却室(190、290)中;
(ix)借助气体、优选氮气冷却工件(6);并且
(x)将带有工件(6)的托架(5)从冷却室(190、290)中取出。
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