[发明专利]阳极氧化层的形成方法、模具的制造方法、防反射膜的制造方法、模具以及防反射膜

权利要求书

1.一种阳极氧化层的形成方法，包含：

工序(a)，准备具有由铝形成的表面的铝基材；

工序(b)，通过对上述表面进行阳极氧化来形成阻挡型氧化铝层；以及

工序(c)，在上述工序(b)后，通过进一步对上述表面进行阳极氧化来形成具有多个微细的凹部的多孔氧化铝层。

2.根据权利要求1所述的阳极氧化层的形成方法，

在第1电解液中进行上述工序(b)，在与上述第1电解液不同的第2电解液中进行上述工序(c)。

3.根据权利要求1或2所述的阳极氧化层的形成方法，

上述第1电解液的pH超过3.0、不到8.0。

4.根据权利要求1至3中的任一项所述的阳极氧化层的形成方法，

上述第1电解液是包含从包括酒石酸铵、酒石酸钾钠、硼酸、硼酸铵、草酸铵、柠檬酸铵、马来酸、丙二酸、苯二甲酸以及柠檬酸的群中选择的酸或盐中的至少1种的水溶液。

5.根据权利要求1至4中的任一项所述的阳极氧化层的形成方法，

一边施加脉冲宽度为200msec以下、脉冲间隔为800msec以上的脉冲电压，一边进行上述工序(c)的阳极氧化。

6.根据权利要求1至5中的任一项所述的阳极氧化层的形成方法，包含：

工序(d)，在上述工序(c)后，通过使上述多孔氧化铝层与蚀刻液接触，使上述多孔氧化铝层的上述多个微细的凹部扩大；以及

工序(e)，在上述工序(d)后，通过进一步进行阳极氧化来使上述多个微细的凹部成长。

7.一种模具的制造方法，

包含用权利要求1至6中的任一项所述的阳极氧化层的形成方法来形成多孔氧化铝层的工序，上述多孔氧化铝层具有从表面的法线方向看时的2维大小是50nm以上的多个微细的凹部，上述模具在表面具有反转的蛾眼结构。

8.一种模具，

是利用权利要求7所述的制造方法制成的模具，

上述模具具有多孔氧化铝层，上述多孔氧化铝层在表面具有反转的蛾眼结构，上述反转的蛾眼结构具有从表面的法线方向看时的2维大小是50nm以上、不到500nm的多个微细的凹部。

9.一种防反射膜的制造方法，包含：

准备权利要求8所述的模具和被加工物的工序；以及

在上述模具和上述被加工物的表面之间赋予了紫外线固化树脂的状态下，通过对上述紫外线固化树脂照射紫外线来固化上述紫外线固化树脂的工序。

10.一种防反射膜，

是利用权利要求9所述的制造方法制成的防反射膜，

上述防反射膜在表面设有多个凸部，上述多个凸部具有直径是50nm以上、不到500nm的底面。