[发明专利]用于制备利用300nm以下超短波长曝光器的固体摄像元件的彩色滤光片的着色感光性树脂组合物、利用其的彩色滤光片以及含有该彩色滤光片的固体摄像元件

说明书

技术领域

本发明涉及一种用于制备利用300nm以下超短波长曝光器的固体摄像元件的彩色滤光片的着色感光性树脂组合物、利用其的彩色滤光片以及含有该彩色滤光片的固体摄像元件。

背景技术

已知，用于实现彩色图像的摄像元件，其接受从外部射入的光，生成并蓄积光电荷的光感知部分的上部具有彩色滤光片。所述彩色滤光片由红色(Red)、绿色(Green)以及蓝色(Blue)这三种颜色的着色图案构成，或者由黄色(Yellow)、洋红色(Magenta)以及蓝绿色(Cyan)这三种颜色的着色图案构成。

所述彩色滤光片各自的着色图案是利用含有颜料或染料的着色感光性树脂组合物形成的。利用了所述着色感光性树脂组合物的着色图案的加工过程通常在光刻工序(lithography)下进行。在制备所述着色图案时所使用的平板印刷工序用光源，其波长通常使用g线(波长436nm)、i线(波长365nm)波长。

另一方面，最近，数码相机等固体摄像元件为了高像素化和改善画质，要求像素尺寸从现有的4～5μm缩小到2μm以下，据此，也要求着色图案超微细化并且为正方形。

为了满足上述要求，人们研究了利用含有染料的着色感光性树脂组合物来形成着色图案，或使染料着色到事先形成的图案上来形成着色图案等。但是，染料的耐热性、耐光性等差，因此在可靠性方面会产生问题。此外，可以说在现有用于形成着色图案的工序用光源的波长463～365nm下可实现的图案尺寸已达到了极限分辨率。

据此，本发明人对利用300nm以下的超短波长的曝光器，使固体摄像元件用彩色滤光片的着色图案尺寸超微细化进行了研究，但是，通常的着色感光性树脂组合物在300nm以下的超短波长的条件下存在不能很好地进行固化的问题。并且，即使在300nm以下的超短波长的条件下进行固化，也存在感光度及分辨率降低的问题。

发明内容

本发明要解决的技术问题

本发明的目的在于提供一种用于制备利用了300nm以下超短波长曝光器的固体摄像元件的彩色滤光片的着色感光性树脂组合物，该着色感光性树脂组合物在利用300nm以下超短波长曝光器制备固体摄像元件用彩色滤光片时，能够形成分辨率高的超微细化着色图案。

本发明的目的还在于提供一种用于制备利用了300nm以下超短波长曝光器的固体摄像元件的彩色滤光片的着色感光性树脂组合物，该着色感光性树脂组合物即使使用少量光聚合引发剂也能表现出高感光度特性，即使在少的曝光量下也能形成分辨率高的超微细化着色图案。

本发明的目的还在于提供一种用于制备利用了300nm以下超短波长曝光器的固体摄像元件的彩色滤光片的着色感光性树脂组合物，该着色感光性树脂组合物表现出高感光度，即使在少的曝光量下也能形成线特性优异、分辨率高的超微细化着色图案。

本发明的目的还在于提供一种利用所述着色感光性树脂组合物所形成的彩色滤光片，其具有分辨率高的超微细化着色图案。

本发明的目的还在于提供一种含有所述彩色滤光片的固体摄像元件。

解决技术问题的技术手段

为了实现上述目的，本发明提供一种用于制备利用了300nm以下超短波长曝光器的固体摄像元件的彩色滤光片的着色感光性树脂组合物，该着色感光性树脂组合物含有着色剂、粘合剂树脂、光聚合性化合物、光聚合引发剂以及溶剂，其特征在于，所述光聚合引发剂含有在300nm以下的条件下反应的化合物。

所述光聚合引发剂可以是选自苯乙酮类、二苯甲酮类、噻吨酮类及三嗪类光聚合引发剂中的至少一种。更优选的是，所述光聚合引发剂可以是选自苯乙酮类及二苯甲酮类光聚合引发剂中的至少一种。在所述光聚合引发剂为选自苯乙酮类、二苯甲酮类、噻吨酮类及三嗪类光聚合引发剂中的至少一种的情况下，所述光聚合引发剂的含量以重量百分比计，优选为着色感光性树脂组合物中固体成分的5～20重量％。

所述光聚合引发剂可以是肟酯类光聚合引发剂。

在所述光聚合引发剂为肟酯类光聚合引发剂的情况下，所述光聚合引发剂的含量以重量百分比计，优选为着色感光性树脂组合物中固体成分的1～20重量％。

所述光聚合引发剂含有肟酯类光聚合引发剂，还可以含有除所述肟酯类光聚合引发剂以外的其他光聚合引发剂。

所述其他光聚合引发剂优选为选自活性自由基生成剂、增感剂以及酸生成剂中的至少一种，所述活性自由基生成剂选自苯乙酮类、二苯甲酮类、噻吨酮类、三嗪类或安息香类光聚合引发剂。