[发明专利]隔膜阀

说明书

技术领域

本发明涉及一种隔膜阀，所述隔膜阀具有设置有隔膜的阀体，并且操作所述隔膜阀以开启/关闭流路。

背景技术

对于作为方向控制阀以控制流体的流动方向的开启/关闭控制阀，已知将流体供应至流体线路(fluid circuit)并停止供应的流路切换阀(即，双向阀)以及允许流体在一个方向上流动并阻止流体在另一个方向上流动的止回阀(即，单向阀)。对于这种开启/关闭控制阀，已知包括作为阀体的隔膜的隔膜阀。作为一个实例，在专利文献1和2中公开了隔膜开启/关闭控制阀，并且在专利文献3中公开了隔膜止回阀。

当将具有隔膜型阀体的开启/关闭控制阀用在流体线路中时，可将在流体线路中流动的流体与用于驱动阀体的驱动部分分开。由于在流体线路中能将该流体与该驱动部分分开，例如，以用于从喷嘴中排放诸如光致抗蚀剂液体的化学制品，因此可防止外来物质从驱动部分流入到化学制品中。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本专利申请特许公开No.H09-217843

专利文献2：日本专利No.4146535

专利文献3：日本专利申请特许公开No.2001-41333

本发明的公开

本发明要解决的问题

当起动开启/关闭控制阀的阀体时，阀体在连通流路中移动，从而阀体使连通流路中的流体在起动阀体时移动，例如，当通过朝着阀座移动阀体而关闭连通流路时，流体反向流动。因此，在专利文献1所描述的双向阀中，阀套设置有使隔膜的中央部分变形的用于开启/关闭的挤压件以及使隔膜的外围部分变形的补充挤压件。当通过隔膜开启/关闭阀口时，隔膜防止连通流路的容积变化。然而，当通过隔膜开启/关闭阀口以导致用于开启/关闭的挤压件和补充挤压件使隔膜的两个不同部分变形时，需要将两个活塞组装在阀套中，以驱动相应的部分。

另一方面，在专利文献2所描述的流体控制设备中，面向形成有连通流路的圆柱形体的一个端部的隔膜型阀体和面向圆柱形体的另一个端部的隔膜型容积调节体布置成彼此分离。当起动阀体时，容积调节体由布置在阀套的外侧上的接合件驱动。如此，阀室的容积变化在起动阀体时被容积调节室抵消，从而防止流体在流体线路中反向流动。然而，遇到了这样一个问题，即，为了使阀体与容积调节体彼此分离并独立地操作它们，需要设置接合件，以覆盖阀套，从而不可能缩小流体控制设备的尺寸。而且，复杂的连通流路造成流体的压力损失增大。

本发明的一个目的在于在使流体线路中的流体不移动的情况下开启/关闭阀体。

本发明的另一目的在于缩小隔膜阀的尺寸。

本发明的又一目的在于减少隔膜阀的连通流路中的压力损失、紊流等。

解决问题的手段

在根据本发明的隔膜阀中，具有隔膜的阀体组装在阀套中，隔膜阀执行开启和关闭操作，以在第一流路和第二流路连通的状态与阻止第一流路和第二流路连通的状态之间切换。隔膜阀包括：中空阀体，所述中空阀体设置成能够在阀套中在轴向方向上执行往复操作，并且所述中空阀体形成有连通流路，第一流路和第二流路通过所述连通流路彼此连通；第一隔膜，所述第一隔膜设置于中空阀体的一个端部；以及第二隔膜，所述第二隔膜设置于中空阀体的另一个端部并经由中空阀体与第一隔膜联动，其中，通过使中空阀体在轴向方向上移动，中空阀体与设置于阀套的阀座部抵接以关闭连通流路。

在根据本发明的隔膜阀中，阀套设置有具有阀座部的阀座块。在根据本发明的隔膜阀中，阀套设置有用于使中空阀体在轴向方向上往复的驱动装置。在根据本发明的隔膜阀中，设置于阀套以能够在与中空阀体的移动方向平行的轴向方向上执行往复运动的往复件接合至中空阀体，并且阀套中设置有用流体压力驱动往复件的活塞。

在根据本发明的隔膜阀中，中空阀体设置有偏压件，所述偏压件在朝着阀座部的方向上施加偏压力，当由第一流路中的流体施加给第一隔膜的开启方向推力大于关闭方向推力时，所述关闭方向推力为偏压件的偏压力与由第二流路中的流体的压力施加给第二隔膜的推力之和，中空阀体与阀座部分离以开启连通流路，并且当开启方向推力小于关闭方向推力时，中空阀体与阀座部抵接以关闭连通流路。

在根据本发明的隔膜阀中，第二隔膜的外径设为大于第一隔膜的外径，当由第一流路中的流体施加给第一隔膜的开启方向推力大于由第二流路中的流体施加给第二隔膜的关闭方向推力时，中空阀体与阀座部分离以开启连通流路，并且当开启方向推力小于关闭方向推力时，中空阀体与阀座部抵接以关闭连通流路。

本发明的效果