[发明专利]近红外吸收膜组合物

权利要求书

1.一种可固化液体配制剂，其包含：

(i)一种或多种具有以下通式的近红外吸收三苯胺基染料：

其中R₁、R₂、R₃、R₄、R₅和R₆独立地表示氢原子或含有至少一个碳原子的烃基，其中烃基任选包含一个或多个选自氮、氧、硫和卤原子的杂原子；其中一个或多个氮原子为阳离子基团，且一个或多个阳离子基团通过一个或多个阴离子而电荷平衡；和

(ii)一种或多种浇铸溶剂。

2.根据权利要求1的液体配制剂，其进一步包含产酸剂。

3.根据权利要求1的液体配制剂，其进一步包含一种或多种交联剂。

4.根据权利要求1的液体配制剂，其中所述一种或多种三苯胺基染料吸收500-1200nm波长范围内的电磁辐射。

5.根据权利要求1的液体配制剂，其进一步包含一种或多种可交联聚合物。

6.根据权利要求5的液体配制剂，其中所述一种或多种可交联聚合物包含含氧基基团。

7.根据权利要求5的液体配制剂，其中所述一种或多种可交联聚合物包含芳族基团。

8.根据权利要求5的液体配制剂，其中所述一种或多种可交联聚合物包含多环基团。

9.根据权利要求1的液体配制剂，其中对于基团R₁、R₂、R₃、R₄、R₅和R₆中至少两个，各个基团含有一个或多个可交联基团。

10.根据权利要求9的液体配制剂，其中所述可交联基团选自含环氧基和羟基基团。

11.根据权利要求1的液体配制剂，其中所述一种或多种三苯胺基染料具有以下通式内的式：

其中R₁、R₂、R₃、R₄、R₅、R₆、R₇和R₈独立地表示氢原子或含有至少一个碳原子的烃基，其中烃基任选包含一个或多个选自氮、氧、硫和卤原子的杂原子；其中一个或多个氮原子为阳离子基团，且一个或多个阳离子基团通过一个或多个阴离子而电荷平衡。

12.一种微电子结构，其包含：

(a)微电子基质；

(b)覆盖微电子基质的固体近红外吸收膜，其中近红外吸收膜包含一种或多种近红外吸收三苯胺基染料；和

(c)覆盖近红外吸收膜的光致抗蚀剂膜。

13.根据权利要求12的微电子结构，其中所述一种或多种近红外吸收三苯胺基染料吸收500-1200nm波长范围内的电磁辐射。

14.根据权利要求12的微电子结构，其中所述一种或多种近红外吸收三苯胺基染料具有以下通式：

其中R₁、R₂、R₃、R₄、R₅和R₆独立地表示氢原子或含有至少一个碳原子的烃基，其中烃基任选包含一个或多个选自氮、氧、硫和卤原子的杂原子；其中一个或多个氮原子为阳离子基团，且一个或多个阳离子基团通过一个或多个阴离子而电荷平衡。

15.根据权利要求12的微电子结构，其中所述固体近红外吸收膜为抗反射层。

16.根据权利要求12的微电子结构，其中抗反射层为底部抗反射层。

17.根据权利要求15的微电子结构，其中所述抗反射层为下层。