[发明专利]真空系统

权利要求书

1. 一种真空系统，包括串联连接的多个真空腔室和用于有差别地泵送所述腔室的真空泵送装置，所述真空泵送装置包括：主泵，所述主泵具有被连接用于泵送所述真空腔室中的第一个的入口和用于在大气压处或周围排放的出口；增压泵，所述增压泵具有被连接用于泵送所述真空腔室中的第二个的入口和连接到主泵入口的出口；和次级泵，所述次级泵具有被连接用于泵送所述真空腔室中的第三个的入口和连接到增压泵入口的出口。

2. 根据权利要求1所述的真空系统，包括两个次级泵，分别用于泵送所述真空腔室中的第三个和第四个，所述两个次级泵的出口连接到增压泵的入口。

3. 根据权利要求2所述的真空系统，其中，所述真空腔室被连接以允许从第一真空腔室按顺序通过所述腔室的流体流。

4. 根据权利要求3所述的真空系统，其中，主泵和增压泵配置成以低真空度泵送相应第一和第二腔室，在至少第一腔室中发生粘性流动。

5. 根据权利要求4所述的真空系统，其中，主泵配置成在其入口和出口之间提供第一压缩比，增压泵配置成在其入口和出口之间提供第二压缩比，第一压缩比大于第二压缩比。

6. 根据权利要求5所述的真空系统，其中，主泵配置成在其入口和出口之间提供第一泵送容量，增压泵配置成在其入口和出口之间提供第二泵送容量，第一泵送容量小于第二泵送容量。

7. 根据前述权利要求中任一项所述的真空系统，其中，增压泵是配置用于增加泵送容量且减少压缩比的涡旋泵。

8. 根据权利要求7所述的真空系统，其中，所述涡旋泵是多头涡旋泵和/或在其协作涡旋壁的至少一部分范围内没有端密封的涡旋泵。

9. 一种质谱仪系统，包括根据前述权利要求中任一项所述的真空系统。