[发明专利]蒸镀用片材及其制造方法

权利要求书

1.一种蒸镀用片材，由作为掺杂物含有铈的氧化铟烧结体构成并且相对密度为50％以上且80％以下，其特征在于，

在针对所述氧化铟烧结体的断裂面上出现的晶粒，将其粒径及其个数相乘所得到的晶粒量的分布中，构成最大峰的粒径的晶粒所占的比率、即最多晶粒比率为20％以下。

2.一种蒸镀用片材的制造方法，所述蒸镀用片材由作为掺杂物含有铈的氧化铟烧结体构成并且相对密度为50％以上且80％以下，其特征在于，包括下列各工序：

第一工序，将氧化铟粉末在1300℃以上且1550℃以下进行热处理，由此获得煅烧粉末；

第二工序，在所获得的煅烧粉末中，以使所述煅烧粉末的比率成为50质量％以上且80质量％以下的方式，混合未煅烧的氧化铈粉末或者未煅烧的氧化铟粉末和氧化铈粉末并且进行造粒，由此获得造粒粉末；以及

第三工序，将所获得的造粒粉末成型为成型体，将该成型体在1100℃以上且1350℃以下并且与所述第一工序中的煅烧粉末的热处理温度相比低200℃以上的温度下进行烧结，由此获得作为掺杂物含有铈的氧化铟烧结体。

3.一种蒸镀用片材的制造方法，所述蒸镀用片材由作为掺杂物含有铈的氧化铟烧结体构成并且相对密度为50％以上且80％以下，其特征在于，包括下列各工序：

第一工序，将氧化铟粉末和氧化铈粉末在1300℃以上且1550℃以下进行热处理，由此获得煅烧粉末；

第二工序，在所获得的煅烧粉末中，以使所述煅烧粉末的比率成为50质量％以上且80质量％以下的方式，混合未煅烧的氧化铟粉末和/或氧化铈粉末并且进行造粒，由此获得造粒粉末；以及

第三工序，将所获得的造粒粉末成型为成型体，将该成型体在1100℃以上且1350℃以下并且与所述第一工序中的煅烧粉末的热处理温度相比低200℃以上的温度下进行烧结，由此获得作为掺杂物含有铈的氧化铟烧结体。

4.如权利要求2或3所述的蒸镀用片材的制造方法，其特征在于，在所述第一工序中，在1400℃以上且1500℃以下进行热处理，由此获得煅烧粉末。

5.如权利要求2或3所述的蒸镀用片材的制造方法，其特征在于，在所述第一工序中，进行热处理15小时以上，由此获得煅烧粉末。

6.如权利要求2或3所述的蒸镀用片材的制造方法，其特征在于，在所述第二工序中，煅烧粉末的比率为70质量％以上且80质量％以下。

7.如权利要求2或3所述的蒸镀用片材的制造方法，其特征在于，在所述第三工序中，烧结时的气体环境是大气环境。

8.如权利要求2或3所述的蒸镀用片材的制造方法，其特征在于，在所述第三工序中，在达到烧结温度后的烧结温度下的保持时间为15小时以上且25小时以下。