[发明专利]Cu-Al 合金粉末、采用该合金粉末的合金糊膏以及电子部件无效
| 申请号: | 201080034392.3 | 申请日: | 2010-08-02 |
| 公开(公告)号: | CN102470438A | 公开(公告)日: | 2012-05-23 |
| 发明(设计)人: | 加藤隆彦;内藤孝;青柳拓也;山本浩贵;吉田诚人;片寄光雄;武田信司;田中直敬;足立修一郎 | 申请(专利权)人: | 日立化成工业株式会社 |
| 主分类号: | B22F1/02 | 分类号: | B22F1/02;H01B1/22;H01B5/00;H01J11/20;H01L21/28;H01L21/288;H01L21/3205;H01L23/52;H01L31/04;H05K1/09 |
| 代理公司: | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人: | 王永红 |
| 地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | cu al 合金 粉末 采用 以及 电子 部件 | ||
1.Cu-Al合金粉末,其是含Cu与Al的Cu-Al合金粉末,其特征在于,上述Cu-Al合金粉末的表面以厚度80nm以下的Al氧化被膜被覆。
2.按照权利要求1所述的Cu-Al合金粉末,其特征在于,Cu-Al合金粉末的合金组成为Al 50wt%以下,其余为Cu及不可避免的杂质。
3.按照权利要求1或2所述的Cu-Al合金粉末,其特征在于,上述Cu-Al合金粉末的形状为球状,平均粒径分布在30μm以下。
4.按照权利要求1~3的任一项所述的Cu-Al合金粉末,其特征在于,还含有薄片状的Cu-Al合金粉末。
5.按照权利要求1~3的任一项所述的Cu-Al合金粉末,其特征在于,上述Cu-Al合金粉末的平均粒径为5μm以下。
6.按照权利要求1~3的任一项所述的Cu-Al合金粉末,其特征在于,上述Cu-Al合金粉末的粒径分布的最大值为5μm以下。
7.按照权利要求1~3的任一项所述的Cu-Al合金粉末,其特征在于,上述Cu-Al合金粉末的平均粒径为5μm以下,粒径分布的最大值为30μm以下。
8.Cu-Al合金粉末的制造方法,其特征在于,具有Cu-Al合金的熔化、利用喷嘴喷雾的粉末化、粉末的干燥、粉末的分级、分级粉末的混合、脱氧-脱水分的工序。
9.按照权利要求8所述的Cu-Al合金粉末的制造方法,其特征在于,还包含将上述Cu-Al合金粉末暴露在大气中或存在氧的气氛中的热处理工序,并且氧化所致的重量增加为5重量%以下。
10.按照权利要求8或9所述的Cu-Al合金粉末的制造方法,其特征在于,上述粉末的分级为干式气体分级或湿式液中分级。
11.Cu-Al合金糊膏,其特征在于,含有权利要求1~7的任一项所述的Cu-Al合金粉末、和选自玻璃、溶剂及粘合剂中的至少1种。
12.按照权利要求11所述的Cu-Al合金糊膏,其特征在于,还含有选自Ag粉末、Al粉末、Si粉末及Au粉末构成的组中的至少1种粉末、和选自玻璃、溶剂及粘合剂中的至少1种材料。
13.按照权利要求11所述的Cu-Al合金糊膏,其特征在于,还含有碱金属氧化物粉末与碳酸盐中的至少任一种。
14.电子部件,其特征在于,将把权利要求11~13的任一项所述的Cu-Al合金糊膏涂布于基板上,在大气中或含氧气氛中焙烧而形成的Cu-Al合金涂膜作为布线、电极、接点材料中的1种以上的导电体。
15.按照权利要求14所述的电子部件,其特征在于,上述导电体的电阻为50μΩcm以下。
16.按照权利要求14或15所述的电子部件,其特征在于,该电子部件为胶片上的系统、带式载体封装、低温共烧陶瓷多层布线基板、等离子体显示装置、液晶显示装置、有机EL显示装置、或太阳能电池。
17.按照权利要求16所述的电子部件,其特征在于,上述太阳能电池为晶体Si太阳能电池。
18.按照权利要求17所述的太阳能电池,其特征在于,上述太阳能电池为背部接点型太阳能电池。
19.按照权利要求14~17的任一项所述的电子部件,其特征在于,所述电子部件具有Cu-Al合金导电体与电介体玻璃接合的结构,并且,Cu-Al合金导电体与电介体玻璃的界面附近的电介体玻璃侧有密合空隙。
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