[发明专利]太阳能电池用硒化氢混合气体的供给方法以及供给装置

权利要求书

1.一种太阳能电池用硒化氢混合气体的供给方法，具有供给工序，通过对从基本气体供给流路供给的惰性气体与从原料气体供给流路供给的100％硒化氢气体进行混合，来供给已调整为规定浓度的硒化氢混合气体，

在所述供给工序中，通过设置于所述原料气体供给流路的流量控制单元，将所述100％硒化氢气体的流量控制为规定流量，并通过在所述流量控制单元的下游侧设置的压力控制单元，将所述流量控制单元与该压力控制单元之间的所述100％硒化氢气体的压力控制为规定压力。

2.根据权利要求1所述的太阳能电池用硒化氢混合气体的供给方法，

所述流量控制单元为节流孔或针阀，

所述压力控制单元为自动压力控制装置APR。

3.根据权利要求2所述的太阳能电池用硒化氢混合气体的供给方法，

所述节流孔或针阀为金属制成。

4.根据权利要求1所述的太阳能电池用硒化氢混合气体的供给方法，

将已调整为规定浓度的所述硒化氢混合气体贮留到缓冲容器中，并从所述缓冲容器中供给所期望浓度的硒化氢混合气体。

5.根据权利要求1所述的太阳能电池用硒化氢混合气体的供给方法，

在所述原料气体供给流路中，对流路内的压力进行一次以上的减压，在最后一次减压之后，对所述100％硒化氢气体的流量进行调整。

6.一种太阳能电池用硒化氢混合气体的供给装置，具备基本气体供给流路和原料气体供给流路，

通过对从基本气体供给流路供给的惰性气体与从原料气体供给流路供给的100％硒化氢气体进行混合，来供给已调整为规定浓度的硒化氢混合气体，

所述原料气体供给流路具备：流量控制单元，将所述100％硒化氢气体的流量控制为规定流量；以及压力控制单元，将所述100％硒化氢气体的压力控制为规定压力，

所述压力控制单元设置在所述流量控制单元的下游侧。

7.根据权利要求6所述的太阳能电池用硒化氢混合气体的供给装置，

所述流量控制单元为节流孔或针阀，

所述压力控制单元为自动压力控制装置APR。

8.根据权利要求7所述的太阳能电池用硒化氢混合气体的供给装置，

所述节流孔或针阀为金属制成。

9.根据权利要求6所述的太阳能电池用硒化氢混合气体的供给装置，

进一步具备缓冲容器，所述缓冲容器用于贮留已调整为规定浓度的所述硒化氢混合气体，

在所述缓冲容器中设置有供给口，所述供给口用于供给所述硒化氢混合气体。

10.根据权利要求6所述的太阳能电池用硒化氢混合气体的供给装置，

在所述原料气体供给流路上，设置有一个以上的压力调整器，

所述流量控制单元设置在最下游侧的所述压力调整器与所述压力控制单元之间。