[发明专利]磨料颗粒的悬浮液

权利要求书

1.一种悬浮液，包括磨料颗粒的组合和粘合剂，所述悬浮液的特征在于：

-所述磨料颗粒的组合的D₄₀-D₆₀粒度级包括按体积百分比计大于15％并且小于80％的具有小于0.85的圆度的颗粒，D₄₀百分位数值为与如下颗粒尺寸相对应的在颗粒尺寸的累积粒度分布曲线上的百分位数值：该颗粒尺寸能够分开由体积百分比为40％的具有更大尺寸的颗粒所构成的颗粒部分；D₆₀百分位数值为与如下颗粒尺寸相对应的在颗粒尺寸的累积粒度分布曲线上的百分位数值：该颗粒尺寸能够分开由体积百分比为60％的具有更大尺寸的颗粒所构成的颗粒部分；

-所述磨料颗粒占所述悬浮液的质量的大于25％并且小于46％。

2.如权利要求1所述的悬浮液，其中，所述磨料颗粒的组合的D₄₀-D₆₀粒度级包括体积百分比小于40％的具有小于0.85的圆度的颗粒。

3.如前述任一项权利要求所述的悬浮液，其中，所述磨料颗粒占所述悬浮液的质量的大于37％且小于43％。

4.如前述任一项权利要求所述的悬浮液，其中，在D₄₀-D₆₀粒度级中具有小于0.85的圆度的颗粒的体积百分比除以粒度中值D₅₀的比率R_40-60为大于1且小于5。

5.如权利要求4所述的悬浮液，其中，在D₄₀-D₆₀粒度级中具有小于0.85的圆度的颗粒的体积百分比除以粒度中值D₅₀的比率R_40-60为大于1.5且小于3。

6.如前述任一项权利要求所述的悬浮液，其中，

25％＜Δ_20-40-60＜50％和/或

0％＜Δ_40-60-80＜20％，

″Δ_n-m-p″为以百分比计的比率(S(D_n-D_m)-S(D_m-D_p))/S(D_m-D_p)，″S(D_i-D_j)″为D_i-D_j粒度级中具有小于0.85的圆度的颗粒的体积百分比。

7.如前述任一项权利要求所述的悬浮液，其中，D₂₀-D₄₀粒度级包括体积百分比大于15％的具有小于0.85的圆度的颗粒。

8.如前述任一项权利要求所述的悬浮液，其中，D₁₀-D₂₀粒度级包括体积百分比大于15％的具有小于0.85的圆度的颗粒。

9.如前述任一项权利要求所述的悬浮液，其中，D₃-D₁₀粒度级包括体积百分比大于30％的具有小于0.85的圆度的颗粒和/或D₄₀-D₆₀粒度级包括体积百分比小于50％的具有小于0.85的圆度的颗粒。

10.如前述任一项权利要求所述的悬浮液，其中，粒度中值D₅₀为大于3μm和/或小于30μm。

11.如前述任一项权利要求所述的悬浮液，其中，所述磨料颗粒的组合中氧的重量含量为0.2％至0.6％之间。

12.如前述任一项权利要求所述的悬浮液，所述悬浮液具有20至30cPa.s之间的粘度，所述粘度是通过使用转子63和200rpm旋转速度的BrookfieldDV-II+Pro的粘度计进行测量的。

13.一种用于锯切块、特别是用于锯切硅块的磨料线，包括通过前述任一项权利要求所述的悬浮液而被固定在支撑物上或相互凝聚的磨料颗粒。

14.一种利用权利要求13所述的磨料线锯切硅块的方法，所述方法适合于在所述锯切操作结束时获得具有小于200μm的厚度的晶片。

15.一种用于加工锭的方法，所述方法包括下列操作：

a.通过将磨料颗粒的粉末与粘合剂进行混合制备悬浮液；

b.使用研磨工具加工所述锭，该研磨工具通过经过所述悬浮液而被重新装载；

其特征在于：对于所述悬浮液的制备，所述悬浮液中的磨料颗粒的重量含量根据所述粉末的比表面积进行调整，所述悬浮液为权利要求1至12中任一项所述的悬浮液。