[发明专利]分配泵

说明书

技术领域

本披露总体上涉及分配泵以及它们的使用方法。

背景技术

不同的工业依赖对小体积流体进行的分配。在诸如半导体工业的工业中，在半导体器件的加工过程中对小体积的高腐蚀性的组分进行分配。在诸如制药工业的工业中，对包括多种浓缩成分的小体积溶液进行分配。

附图说明

通过参见附图可以更好地理解本披露，并且使其许多特征和优点对于本领域的普通技术人员变得清楚。

图1包括一个示例性分配泵的截面的图示。

图2包括一个示例性分配泵的俯视图的图示。

图3包括一个示例性分配泵的透视图的图示。

图4包括一个示例性分配泵的一部分的截面图示。

在不同附图中使用相同参考符号表示相似或相同的事项。

具体实施方式

在一个具体的实施方案中，一个泵包括一个泵体，该泵体限定了一个流体室以及进口和出口端口。当安置在该流体室中的一个提升阀芯在一个第一方向上移动时，流体被抽拉着通过与该进口端口连接的一个进口单向阀，而当它在一个第二方向上移动时，流体被推出该流体室并通过一个出口单向阀。该进口单向阀可以直接连接到该泵体上，与由该泵体限定的进口端口对齐。该出口单向阀可以直接连接到该泵体上，与该泵体的出口端口对齐。一个活塞附接到该提升阀芯上并安置在一个活塞室内。响应于诸如空气的致动气体，该活塞移动了，从而致动该提升阀芯并使流体在该流体室内流动。另外，该泵可以包括一个分配的体积控制器、一个活塞速率控制器、以及活塞室内检测泄露的不同体积的多个入口端口。

在一个示例性实施方案中，图1包括处于一个空的配置中的一个分配泵100的图示。分配泵100包括连接到一个活塞壳体140上的一个泵体110。泵体110限定了由内部环形壁131和132限制的一个流体室130。另外，泵体110限定了一个进口端口112和一个出口端口114。一个活塞组件160被安置在由活塞壳体140限定的一个活塞室146内并在泵体110的流体室130内。另外，一个单向阀116直接连接到流体进口端口112上，并且一个单向阀118直接连接到流体出口端口114上。当活塞组件160远离泵体110的底座128移动时，单向阀116打开，允许流体被抽拉到流体室130中，而单向阀118处于关闭位置。当活塞组件160朝向底座128移动时，流体室130内的流体压力增加，以便打开单向阀118并关闭单向阀116。因此，流体室130内的流体被推出泵体110的出口端口114。

泵体110包括由内部环形壁131和内部环形壁132限定的一个流体室130，并且底座被128安置在流体室130的一端处。一个进口端口112被限定为与流体室130处于流体连通。一个单向阀116直接连接到进口端口112和流体空腔130上，并与它们处于流体连通。具体地，单向阀116直接接触泵体110，而没有介于中间的管或连接器。进口单向阀116包括连接到诸一个动力部件122上的一个进口单向阀活塞组件120，如一个弹簧。进口单向阀活塞组件120和动力部件122被配置为允许流体进入进口端口112和流体室130中，而不经由流体进口端口112离开流体室130。出口端口114与流体室130处于流体连通。另外，一个单向阀118直接连接到该流体出口端口114上，如，没有介于中间的管或连接器。出口单向阀118包括一个出口单向阀活塞组件126和动力部件124，该出口单向阀活塞组件和动力部件被配置为允许流体从流体室130流出该出口端口114并通过该单向阀118，而不在相反方向上流动。

单向阀116和单向阀118可以包括多个部件，如聚合物部件或金属部件。在一个具体实例中，单向阀116和118包括可以经受腐蚀环境的多个聚合物部件。在一个具体实例中，进口单向阀116和出口单向阀118的部件可以由一种氟聚合物形成。具体地，单向阀116或118可以由一种氟聚合物形成，如，聚四氟乙烯(PTFE)或全氟烷氧基(PFA)、它们的任意共混物或共聚物、或它们的任意组合。